长鑫存储技术有限公司李言彬获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利载物台水冷装置及其故障检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112325558B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910718100.0，技术领域涉及：F25D31/00；该发明授权载物台水冷装置及其故障检测方法是由李言彬;张志强设计研发完成，并于2019-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本载物台水冷装置及其故障检测方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种载物台水冷装置及其故障检测方法，载物台水冷装置包括：水箱、第一管道和第二管道，水箱具有抽水口和回流口，第一管道包括与抽水口连接的抽取管道、位于载物台内部的冷却管道以及与水箱的回流口连接的回流管道，第二管道连接于抽取管道和回流管道之间且靠近抽水口和回流口，第一管道与水箱形成制冷循环回路，第二管道与水箱形成测试循环回路；故障检测方法包括：开通制冷循环回路、关闭测试循环回路，获取抽水口处的第一流量值和回流管道的第二流量值；关闭制冷循环回路、开通测试循环回路，获取抽水口处的第三流量值；根据第一流量值、第二流量值、第三流量值和目标流量值判断故障类型。
本发明授权载物台水冷装置及其故障检测方法在权利要求书中公布了：1.一种载物台水冷装置故障检测方法，其特征在于， 所述载物台水冷装置包括： 水箱、第一管道和第二管道，所述水箱具有抽水口和回流口，所述第一管道包括与所述抽水口连接的抽取管道、位于载物台内部的冷却管道以及与所述水箱的回流口连接的回流管道，所述第二管道连接于所述抽取管道和所述回流管道之间且靠近所述抽水口和所述回流口，所述第一管道与所述水箱形成制冷循环回路，所述第二管道与所述水箱形成测试循环回路； 所述故障检测方法包括： 开通所述制冷循环回路、关闭所述测试循环回路，获取所述抽水口处的第一流量值和所述回流管道的第二流量值； 关闭所述制冷循环回路、开通所述测试循环回路，获取所述抽水口处的第三流量值； 比较所述第一流量值、所述第二流量值、所述第三流量值和目标流量值，判定所述载物台水冷装置故障类型。
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