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龙图腾网获悉株式会社京三制作所申请的专利高频电源装置的控制方法以及高频电源装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115136493B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180015278.4，技术领域涉及：H03H7/40；该发明授权高频电源装置的控制方法以及高频电源装置是由高柳敦;竹内寿德;高田浩一;横山聪一;中山浩设计研发完成，并于2021-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本高频电源装置的控制方法以及高频电源装置在说明书摘要公布了：在频率范围内，将输出指令值抑制为不超过高频放大器所容许的输出指令的上限。本发明的高频电源装置的控制方法以及高频电源装置在可变频率的频率范围内进行频率控制，并且在可变频率的频率范围内，通过输出极限值来限制用于控制高频放大器的输出的输出指令值的上限，由此，防止由过剩指令引起的高频放大器的损伤。

本发明授权高频电源装置的控制方法以及高频电源装置在权利要求书中公布了：1.一种高频电源装置的控制方法，所述高频电源装置向负载供给高频功率，其特征在于， 所述控制方法具备：输出控制，基于输出指令来控制高频放大器的输出，所述高频放大器通过直流-交流变换来输出高频功率， 所述输出控制控制所述高频放大器，使得向负载供给的有效的负载功率即LOAD功率或从高频电源装置向负载供给的行波功率的功率反馈值成为功率指令值， α在输出指令值通过输出控制而增加且超过输出极限值情况下，转移到将所述输出指令值抑制为所述输出极限值的输出极限状态，限制输出指令值的增大， 所述输出极限状态是反射功率超过限制值的反射功率极限状态，或损失功率超过限制值的损失功率极限状态， β在所述输出达到设定输出之前成为所述输出极限状态情况下，切换为可变频率控制，进行通过行波反馈值的减少而从所述输出极限状态摆脱的控制， 并且，所述控制方法具备：阻抗匹配控制，将所述高频放大器与负载之间的阻抗进行匹配， 所述阻抗匹配控制具备： A频率控制，基于所述高频放大器的反馈信号使控制频率变动来进行阻抗匹配；以及 B频率极限值控制，在输出控制中，判定是否处于限制输出指令值的上限的输出极限状态并设定频率极限值，决定用于规定所述频率控制的频率范围的频率极限值， C所述频率控制在由所述频率极限值控制决定的频率极限值的频率范围内对所述高频放大器的频率进行控制， 所述输出控制具备： D输出极限值控制，在所述频率范围内决定用于限制输出的输出极限值， E通过将由所述输出极限值控制决定的输出极限值设为上限的输出指令值来控制所述高频放大器的输出， F所述输出控制与所述阻抗匹配控制是分别独立的控制。

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