四川微著科技有限公司山永启获国家专利权
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龙图腾网获悉四川微著科技有限公司申请的专利一种三轴MEMS加速度计闭环读出电路获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115184639B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210513695.8，技术领域涉及：G01P15/18；该发明授权一种三轴MEMS加速度计闭环读出电路是由山永启;张潭;熊坤设计研发完成，并于2022-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三轴MEMS加速度计闭环读出电路在说明书摘要公布了：本发明公开了一种三轴MEMS加速度计闭环读出电路，包括三个单轴闭环读出电路，三个所述单轴闭环读出电路分别与所述三轴MEMS加速度计的X、Y、Z轴连接，三个所述单轴闭环读出电路的输出端与加速度计信号数字量化模块的数据输入端连接，所述加速度计信号数字量化模块的输出端与数字处理模块的输入端连接，所述数字处理模块的输出端数字输出加速度计信号。三个轴向可各自分别实现信号模拟和数字输出；每个轴向读出电路都可单独选择闭环控制还是开环控制；同时内部集成存储器和控制电路，实现三个轴向读出电路参数灵活配置，对加速度计加工误差、封装误差和装配误差进行及时调整,从而提高器件良率；同时兼容信号模拟输出和数字输出，方便用户使用。
本发明授权一种三轴MEMS加速度计闭环读出电路在权利要求书中公布了：1.一种三轴MEMS加速度计闭环读出电路，其特征在于：包括三个单轴闭环读出电路，三个所述单轴闭环读出电路分别与所述三轴MEMS加速度计的X、Y、Z轴连接，三个所述单轴闭环读出电路的输出端与加速度计信号数字量化模块的数据输入端连接，所述加速度计信号数字量化模块的输出端与数字处理模块的输入端连接，所述数字处理模块的输出端数字输出加速度计信号； 所述单轴闭环读出电路包括电容电压转换电路、低通滤波器、比例积分微分控制器、模式控制电路、加速度计信号量化模块、自校准模块，所述电容电压转换电路与三轴MEMS加速度计连接，所述电容电压转换电路的输出端连接所述低通滤波器，所述低通滤波器的输出端连接所述比例积分微分控制器；比例积分微分控制器输出端与模式控制电路连接；模式控制电路输出端连接加速度计信号量化模块；电容电压转换电路输出还连接至自校准模块。
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