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龙图腾网获悉杭州电子科技大学申请的专利一种高度集成的体声波谐振器、滤波器及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121585128B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610115948.4，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权一种高度集成的体声波谐振器、滤波器及制备方法是由轩伟鹏;张伟军;丁睿;陈龙;郑鹏;李文钧;孙玲玲;金浩;董树荣设计研发完成，并于2026-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高度集成的体声波谐振器、滤波器及制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高度集成的体声波谐振器、滤波器及制备方法，属于滤波器技术领域，体声波谐振器包括有源区及至少部分围绕该有源区的非有源区，所述体声波谐振器还包括沿纵向方向层叠布置的衬底、底电极、压电层和顶电极，所述体声波谐振器还包括平面电感、介质层和电容电极，所述平面电感与所述顶电极同层，所述介质层位于所述平面电感和所述顶电极远离所述压电层的一侧，所述电容电极设置于所述介质层的一侧且与所述顶电极形成电容结构，所述平面电感和所述电容结构位于所述非有源区且分别位于所述有源区的两侧。本发明通过将电感和电容集成于体声波谐振器中，有利于实现射频器件的小型化。

本发明授权一种高度集成的体声波谐振器、滤波器及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高度集成的体声波谐振器，其特征在于，包括有源区及至少部分围绕该有源区的非有源区，所述体声波谐振器还包括沿纵向方向层叠布置的衬底、声学镜、底电极、压电层、顶电极和过渡电极，所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在纵向方向的重叠部分构成所述有源区，所述体声波谐振器还包括平面电感、介质层和电容电极，所述平面电感、所述过渡电极与所述顶电极同层，所述介质层位于所述平面电感和所述顶电极远离所述压电层的一侧，所述电容电极设置于所述介质层的一侧且与所述顶电极形成电容结构，所述平面电感和所述电容结构位于所述非有源区且分别位于所述有源区的两侧； 所述体声波谐振器还包括层叠于所述介质层上的盖板，所述介质层远离所述顶电极的一侧和或所述盖板靠近所述压电层的一侧设有凹槽，所述电容电极设于所述凹槽内； 所述电容电极包括导电胶，所述凹槽设置于所述介质层远离所述顶电极的一侧，所述导电胶填充于所述凹槽内，所述导电胶同时与所述盖板靠近所述压电层的一侧和所述凹槽的侧壁粘接，或，所述电容电极包括导电胶，所述凹槽设置于所述盖板靠近所述压电层的一侧，所述导电胶填充于所述凹槽内，所述导电胶同时与所述介质层远离所述顶电极的一侧和所述凹槽的侧壁粘接； 所述压电层设置有第一通孔，所述第一通孔贯穿所述压电层，所述盖板和所述介质层形成第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔内均填充有金属材料，所述底电极通过所述第一通孔、所述过渡电极和所述第二通孔导通至所述盖板远离所述压电层的一侧，所述电容电极和所述顶电极通过所述第二通孔导通至所述盖板远离所述压电层的一侧，所述平面电感通过所述第二通孔导通至所述盖板远离所述压电层的一侧。

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