苏州矽行半导体技术有限公司蔡雄飞获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州矽行半导体技术有限公司申请的专利一种TDI相机对焦位置标定方法和晶圆检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121639680B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610152639.4，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种TDI相机对焦位置标定方法和晶圆检测设备是由蔡雄飞;彭加新;张宏斌设计研发完成，并于2026-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种TDI相机对焦位置标定方法和晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种TDI相机对焦位置标定方法和晶圆检测设备，属于半导体光学检测技术，TDI相机对焦位置标定方法包括生成对焦矩阵、Trombone坐标对齐、对焦矩阵的配准和生成最佳对焦位置；方法通过GridSearch算法求解最佳对焦位置。本申请通过提供一种面向晶圆明场缺陷检测的TDI相机最佳对焦位置标定方法，通过配准二维搜索生成的对焦矩阵来计算最佳对焦位置，减小系统误差带来的影响，提高TDI相机的标定精度，便于在晶圆光学检测领域推广应用。
本发明授权一种TDI相机对焦位置标定方法和晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种TDI相机对焦位置标定方法，其特征在于，方法包括以下步骤： S1、生成对焦矩阵，在二维搜索对焦过程中，基于晶圆检测系统的不同Z轴和Trombone机构位置都对应着一个图像清晰度值，整个对焦过程生成一个完整的图像清晰度矩阵，即对焦矩阵； S2、Trombone坐标对齐，Trombone的误差为，在配准之前对Trombone机构的坐标进行对齐，使标定矩阵与参考矩阵的Trombone坐标一致，将搜索范围限定为； S3、对焦矩阵的配准，对标定矩阵选取窗口区域，移动与参考矩阵的不同区域进行对比，寻找平均绝对误差最小的区域，得到平均绝对值最小的搜索位置，即为最佳对焦位置的偏移值，实现配准； S4、生成最佳对焦位置，基于配准得到的计算对焦矩阵对应的最佳对焦位置，；式中为最佳焦面位置对应的Z轴和Trombone位置坐标。
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