买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利MOCVD工艺多参数同步检测方法、系统、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121655621B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610170080.8，技术领域涉及：G01D21/02；该发明授权MOCVD工艺多参数同步检测方法、系统、设备及存储介质是由刘新阳;张黎明;宣光濮设计研发完成，并于2026-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本MOCVD工艺多参数同步检测方法、系统、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种MOCVD工艺多参数同步检测方法、系统、设备及存储介质，涉及半导体检测技术领域，本申请通过将单模激光分为物光和参考光，并利用参考光经点衍射形成球面参考波，使物光和球面参考波在半导体表面附近空间重合形成稳定干涉条纹；再对每一帧干涉图像同步提取相位分布图和对比度分布图，并在统一的数据源与空间参考系下进行多参数同步解耦与反演，从而能够在MOCVD高温强辐射与半导体旋转条件下实现对半导体形貌、温度及光学反射特性的原位、实时、全场同步获取与关联分析，避免多套独立监测系统带来的时空不同步与信息割裂问题，降低系统集成与校准复杂度，同时为工艺优化提供统一、精确、全面的数据基础。

本发明授权MOCVD工艺多参数同步检测方法、系统、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种MOCVD工艺多参数同步检测方法，其特征在于，包括: 获取工艺起始阶段的基准相位分布图、以及工艺加工阶段中的干涉图像序列；其中，所述干涉图像序列是将单模激光分为物光和参考光，所述参考光经点衍射形成球面参考波，并使所述物光和所述球面参考波在半导体表面附近空间重合形成干涉条纹后，基于触发信号对所述干涉条纹进行成像采集得到的；所述触发信号是基于旋转编码器的同步脉冲信号生成的；在成像路径中设置与单模激光的中心波长相匹配的窄带滤波片，以抑制外延生长腔体内热辐射背景光； 针对每一帧干涉图像，分别对其进行相位提取和对比度提取，得到相位分布图和对比度分布图； 基于所述相位分布图和所述基准相位分布图的差值、以及所述对比度分布图，执行多参数同步解耦和反演处理，以同步得到半导体形貌相关参数、温度相关参数以及光学反射相关参数的分布结果，包括： 计算所述相位分布图和所述基准相位分布图的相位差分布图；对所述相位差分布图执行空间域分量分离处理，得到表征半导体表面形貌的几何相位分量；对所述几何相位分量进行高度换算，得到半导体表面的高度变化分布；对所述高度变化分布执行二维数值微分，得到曲率分布； 将所述几何相位分量从所述差值中扣除，得到热致相位分布；基于所述热致相位分布和预设材料参数，反演得到温度变化场，基于所述温度变化场确定温度场分布；其中，所述预设材料参数包括与待测半导体材料对应的热光系数、热膨胀系数、初始折射率和厚度； 将所述对比度分布图与标准参数进行归一化标定，得到相对反射率分布；其中，所述标准参数是基于标准反射片测量得到的。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海车仪田科技有限公司，其通讯地址为：201114 上海市闵行区新骏环路138号2幢102、202室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。