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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种基于超表面的光谱干涉表面形貌测量方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121677608B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610187934.3，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种基于超表面的光谱干涉表面形貌测量方法及装置是由卢文龙;曹志晨;常素萍设计研发完成，并于2026-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于超表面的光谱干涉表面形貌测量方法及装置在说明书摘要公布了：本申请涉及表面形貌测量技术领域，公开了一种基于超表面的光谱干涉表面形貌测量方法及装置。该装置包括光谱仪、白光光源、光纤、平行对齐放置的聚焦超表面和色散超表面，聚焦超表面的两侧分别为球面薄透镜和微纳结构，两侧中间有反射金属膜；色散超表面的两侧分别为半透半反膜和微纳结构；聚焦超表面用于将平行入射光进行汇聚，一部分光作为参考光被半透半反膜反射聚焦在反射镀层，另一部分光作为测量光透过半透半反膜；色散超表面用于将透过半透半反膜的光进行轴向色散，聚焦在待测表面的单色光沿光路返回并与参考光发生干涉，生成共焦信号或干涉信号以解算待测表面的形貌信息。采用本装置能够在狭小空间下实现高精度的表面形貌测量。

本发明授权一种基于超表面的光谱干涉表面形貌测量方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种基于超表面的光谱干涉表面形貌测量装置，其特征在于，包括光谱仪、白光光源、光纤、超表面镜组，所述超表面镜组包括准直镜、平行对齐放置的聚焦超表面和色散超表面，所述色散超表面与所述聚焦超表面之间存在设定距离，所述距离等于聚焦超表面的工作焦距的一半；所述聚焦超表面的第一侧为球面薄透镜，其第二侧为微纳结构，其反射镀层镀有反射金属膜，所述反射镀层位于所述聚焦超表面的第一侧和第二侧之间；所述色散超表面的第一侧镀有半透半反膜，其第二侧为微纳结构； 所述白光光源用于提供发散光；所述光纤用于传输光线；所述准直镜用于将光纤出光口发射的发散光准直为平行入射光，其位置由光纤出光口的数值孔径与其口径决定； 所述聚焦超表面用于将平行入射光进行汇聚，一部分光作为参考光，被半透半反膜反射聚焦在反射镀层，另一部分光作为测量光，透过半透半反膜； 所述色散超表面用于将透过半透半反膜的光进行轴向色散，聚焦在待测表面的单色光沿光路返回所述超表面镜组并与参考光发生干涉，生成共焦信号或干涉信号； 所述光谱仪用于接收所述共焦信号或干涉信号，所述共焦信号或干涉信号用于解算待测表面的形貌信息。

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