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龙图腾网获悉无锡冠亚恒温制冷技术有限公司申请的专利一种氟化液真空清洁装置及其清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121696155B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610204095.1，技术领域涉及：B08B3/08；该发明授权一种氟化液真空清洁装置及其清洁方法是由仝高强;颜厥枝;杜明明;沈清华设计研发完成，并于2026-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氟化液真空清洁装置及其清洁方法在说明书摘要公布了：本发明涉及氟化液清洁技术领域，具体为一种氟化液真空清洁装置及其清洁方法，包括清洁仓；底座，其设置于清洁仓内；放置台，其阵列排布于底座上；待清洁工件放置于放置台；震动器，其震动频率能够调节；且震动器连接至放置台，用于震动放置台；水平度调节器，其连接至底座，用于改变底座相较于水平面的倾斜角度；重力传感器，其设置于放置台上，用于测试待清洁工件的重量；控制器，其连接震动器、水平度调节器和重力传感器；其中，控制器控制震动器的震动频率与待清洁工件的重量相关，控制器控制水平度调节器以改变底座相较于水平面的倾斜角度，实现了针对不同氟化液滞留量的工件均能够在相同时间内达到相同清洁进度的效果。

本发明授权一种氟化液真空清洁装置及其清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种氟化液真空清洁装置，用于去除工件表面附着的氟化液；该清洁装置包括清洁仓，其特征在于：该清洁装置还包括： 底座，其设置于所述清洁仓内； 放置台，其阵列排布于所述底座上；待清洁工件放置于所述放置台； 震动器，其震动频率能够调节；且所述震动器连接至所述放置台，用于震动所述放置台； 水平度调节器，其连接至所述底座，用于改变所述底座相较于水平面的倾斜角度； 重力传感器，其设置于所述放置台上，用于测试工件的重量； 控制器，其连接所述震动器、所述水平度调节器和所述重力传感器； 其中，所述控制器控制所述震动器的震动频率与工件的重量相关，所述控制器控制所述水平度调节器以改变所述底座相较于水平面的倾斜角度； 所述工件未附着氟化液的重量为第一重量，所述水平度调节器持续转动并改变所述底座的倾斜角度，当每个工件的重量均降低至所述第一重量时，所述底座恢复水平； 所述放置台内设置共振腔，所述共振腔内填充共振液，所述共振液未充满所述共振腔腔体； 该装置还包括共振液补充装置，其设置于所述放置台一侧；所述共振液补充装置和所述控制器连接，所述共振液补充装置的输出管和所述共振腔连通，所述工件的重量和所述第一重量的差值范围为待清洁工件表面氟化液的常规重量范围，工件表面氟化液时的重量超过该所述常规重量范围的最大值1.5倍时为第二重量，当工件的重量超过所述第二重量时，所述共振液补充装置填满所述共振腔； 该清洁装置还包括： 膨胀罐，其具有储放纯净气体的顶部和储放氟化液的底部； 输气管组，其连接所述膨胀罐和所述清洁仓的进气端； 真空泵，其设置于所述输气管组的管路上，用于驱动所述膨胀罐内的纯净气体进入所述清洁仓； 回收管组，其连接所述膨胀罐和所述清洁仓的出气端，用于回收所述氟化液和所述纯净气体。

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