无锡迪渊特科技有限公司王迪杏获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡迪渊特科技有限公司申请的专利一种用于蚀刻机腔体的加热环获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224218527U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520856771.4，技术领域涉及：H05B1/02；该实用新型一种用于蚀刻机腔体的加热环是由王迪杏;彭冬冬设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于蚀刻机腔体的加热环在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体公开了一种用于蚀刻机腔体的加热环，具体公开了一种用于蚀刻机腔体的加热环，包括内环层，所述内环层为高导热陶瓷基体，所述内环层的表面开设有多个呈放射状的凹槽，所述凹槽的内部嵌入设置有电阻丝阵列，通过多组独立电阻丝对腔体中心区域进行集中加热，外环层的连续S形铂金加热膜沿腔体边缘均匀分布，通过蛇形路径延长热源覆盖范围，补偿边缘热量散失，分区控温，温度均匀性好，有效减少晶圆蚀刻的边缘不均匀缺陷，内环层表面K型热电偶与外环层背部薄膜温度传感器实时采集温度数据，反馈至外部PID控制器，外部PID控制器根据温差动态调节电阻丝阵列与铂金加热膜的功率输出，实现温度精度调节。
本实用新型一种用于蚀刻机腔体的加热环在权利要求书中公布了：1.一种用于蚀刻机腔体的加热环，其特征在于：包括： 内环层1，所述内环层1为高导热陶瓷基体，所述内环层1的表面开设有多个呈放射状的凹槽3，所述凹槽3的内部嵌入设置有电阻丝阵列4，且电阻丝两端连接至内环层1背部的铜制电极片5； 外环层2，所述外环层2为耐腐蚀铝合金基体，所述外环层2的表面开设有连续且呈S形的加热膜沟槽6，所述加热膜沟槽6的内部嵌入设置有铂金加热膜7，所述铂金加热膜7的两端与外环层2侧边的插接式端子8连接； 所述内环层1与外环层2之间设置有绝缘片9。
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