索罗曼(常州)合金新材料有限公司;广州众山新材料股份有限公司郭永胜获国家专利权
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龙图腾网获悉索罗曼(常州)合金新材料有限公司;广州众山新材料股份有限公司申请的专利一种自限位式涂布载台、涂布装置及薄膜生产系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224218780U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521073101.1,技术领域涉及:H10K71/12;该实用新型一种自限位式涂布载台、涂布装置及薄膜生产系统是由郭永胜设计研发完成,并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自限位式涂布载台、涂布装置及薄膜生产系统在说明书摘要公布了:本实用新型涉及薄膜涂布设备领域,尤其涉及一种自限位式涂布载台、涂布装置及薄膜生产系统,包括基片承载平台;基片承载平台上表面设置有自限位凹槽;自限位凹槽内设置有废液导流槽,基片承载平台的内部设置有与废液导流槽连通的废液导流孔;基片承载平台的内部形成有位于自限位凹槽下方的真空吸附腔室;自限位凹槽内设置有多个真空吸附孔,多个真空吸附孔分别与真空吸附腔室连通;基片承载平台上设置有与真空吸附腔室连通的真空抽气孔。本实用新型能够实现基片的自动定位和快速放置,提高作业效率,避免废液在基片表面滞留影响涂布质量,确保基片在涂布过程中保持稳定状态,提高涂布均匀性和一致性,适合大面积连续化制备生产。
本实用新型一种自限位式涂布载台、涂布装置及薄膜生产系统在权利要求书中公布了:1.一种自限位式涂布载台,包括基片承载平台;其特征在于, 所述基片承载平台上表面设置有自限位凹槽,其长度和宽度大于待涂布基片的对应尺寸,深度小于或等于待涂布基片的厚度; 所述自限位凹槽内设置有废液导流槽,所述基片承载平台的内部设置有与所述废液导流槽连通的废液导流孔; 所述基片承载平台的内部形成有位于所述自限位凹槽下方的真空吸附腔室;所述自限位凹槽内设置有多个真空吸附孔,多个所述真空吸附孔分别与所述真空吸附腔室连通;所述基片承载平台上设置有与真空吸附腔室连通的真空抽气孔。
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