江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆传送盒处理系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224218799U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520930808.3,技术领域涉及:H10P74/00;该实用新型一种晶圆传送盒处理系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传送盒处理系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆传送盒处理系统,涉及半导体领域。该晶圆传送盒处理系统包括:开盖装置,被配置为将位于开盖工位并处于盖合状态下的晶圆传送盒的盖体和盒体分开;搬运装置,配置为将分开后的盒体搬运至处理工位;粘连检测模块,用于检测在开盖装置将盒体与盖体分开的过程中,晶圆传送盒的盒体与盖体的粘连情况。本实用新型提供的晶圆传送盒处理系统能够在对晶圆传送盒开盖的过程中检测盒体是否与盖体粘连,确保后续对盒体的处理过程顺利进行。
本实用新型一种晶圆传送盒处理系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆传送盒处理系统,其特征在于,所述晶圆传送盒包括盒体20和与所述盒体20盖合的盖体10以及位于所述盒体20和所述盖体10其中一个上的垫片,所述盒体20与所述盖体10盖合时,所述垫片分别与所述盖体10与所述盒体20抵持,所述处理系统包括: 开盖装置100,被配置为将位于开盖工位并处于盖合状态下的所述晶圆传送盒的所述盖体10和所述盒体20分开;搬运装置,配置为将分开后的所述盒体20搬运至处理工位300; 粘连检测模块,用于检测在所述开盖装置100将所述盒体20与所述盖体10分开的过程中,所述晶圆传送盒的盒体20与所述盖体10的粘连情况。
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