天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司由佰玲获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司申请的专利一种硅片包装片盒的清洗及干燥工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116603824B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310647414.2,技术领域涉及:B08B9/22;该发明授权一种硅片包装片盒的清洗及干燥工艺是由由佰玲;王维师;周迎朝;邓春星;谭永麟;孙晨光;王彦君设计研发完成,并于2023-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片包装片盒的清洗及干燥工艺在说明书摘要公布了:本发明提供一种硅片包装片盒的清洗及干燥工艺,包括:将包装片盒上载并置入纯水槽中浸泡,传递至预清洗槽中进行预清洗,进入清洗槽进行清洗;清洗后的所述包装片盒移动至第一处理处进行干燥处理;干燥后的所述包装片盒转移至第二处理处进行一次静置储存,随后再置入恒温氮气柜中进行二次静置处理,将其取出后在第二处理处进行三次静置,处理完成。本发明的有益效果是采用的包装片盒的干燥静置包含三个部分,一是热空气干燥和散热导流,二是一级环境静置和降温,三是N2柜干燥,通过这种方式清洗的包装片盒但保证了表面的及其微小的液滴的充分干燥。
本发明授权一种硅片包装片盒的清洗及干燥工艺在权利要求书中公布了:1.一种硅片包装片盒的清洗及干燥工艺,包括: 将包装片盒上载并置入纯水槽中浸泡,传递至预清洗槽中进行预清洗,进入清洗槽进行清洗; 清洗后的所述包装片盒移动至第一处理处进行干燥处理; 干燥后的所述包装片盒转移至第二处理处进行一次静置储存,随后再置入恒温氮气柜中进行二次静置处理,将其取出后在第二处理处进行三次静置,处理完成; 所述第二处理处为一级微环境,所述包装片盒在所述第二处理处一次静置30-60min; 所述包装片盒在所述第二处理处一次静置时的盒盖与盒体交错设置。
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