江西萨瑞微电子技术有限公司宋锐获国家专利权
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龙图腾网获悉江西萨瑞微电子技术有限公司申请的专利一种水基显影液的制备方法、水基显影液及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116627004B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310705255.7，技术领域涉及：G03F7/32；该发明授权一种水基显影液的制备方法、水基显影液及其应用是由宋锐;李运鹏设计研发完成，并于2023-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种水基显影液的制备方法、水基显影液及其应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种水基显影液的制备方法、水基显影液及其应用，该制备方法包括：选取第一份量的硫酸与第二份量的异丙醇进行混合以得到异丙醇溶液，将四甲基氯化铵与异丙醇溶液按照第一预设比例进行混合，加入第三份量的硫酸，过滤其沉淀物，对沉淀物进行干燥处理以得到白色结晶状固体四甲基铵硫酸盐；将固体四甲基铵硫酸盐溶于水中，向水中加入氢氧化钡的悬浮液，对反应混合物进行过滤，得到四甲基氢氧化铵溶液并进行提纯；将提纯后的四甲基氢氧化铵溶液与水按照第二预设比例进行混合，搅拌，得到水基显影液。本发明旨在提供一种水基显影液，以解决现有技术中传统有机溶剂形式的显影液在芯片显影过程中还存在使用不便的问题。
本发明授权一种水基显影液的制备方法、水基显影液及其应用在权利要求书中公布了：1.一种水基显影液的制备方法，其特征在于，所述方法包括： 选取第一份量的硫酸与第二份量的异丙醇进行混合以得到异丙醇溶液，将四甲基氯化铵与所述异丙醇溶液按照第一预设比例进行混合，加入第三份量的盐酸，过滤其沉淀物，对所述沉淀物进行干燥处理以得到白色结晶状固体四甲基铵硫酸盐； 将所述固体四甲基铵硫酸盐溶于水中，向水中加入氢氧化钡的悬浮液，对反应混合物进行过滤，得到四甲基氢氧化铵溶液并进行提纯；提纯采用装有OH型阴离子交换树脂的交换柱对四甲基氢氧化铵溶液进行提纯，去除离子； 将提纯后的所述四甲基氢氧化铵溶液与水按照第二预设比例进行混合，搅拌，得到水基显影液。 其中，所述第一预设比例为四甲基氯化铵与异丙醇溶液的固液比，为1:3-6，所述第二预设比例为提纯后的四甲基氢氧化铵溶液与水的体积比。
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