苏州大学马韬获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州大学申请的专利基于CGH透镜零位补偿检测光路的拼接非球面表征方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116734763B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310626921.8,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权基于CGH透镜零位补偿检测光路的拼接非球面表征方法是由马韬;张雨露;曾欣悦设计研发完成,并于2023-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于CGH透镜零位补偿检测光路的拼接非球面表征方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光学非球面技术领域,尤其是指一种基于CGH透镜零位补偿检测光路的拼接非球面表征方法,以非球面的检测为导向,基于零位补偿检测原理,根据光线追迹方法、斯涅尔定律、衍射原理和等光程原则,使用干涉仪入射波前为平面波、补偿器为单CGH透镜且衍射面为二元光学面3或二元光学面4的零位补偿检测系统所需的各项参数表征非球面面形,并根据所述表征方法自定义的一种非球面类型,称为零位拼接非球面。所述拼接非球面表征方法,通过拼接非球面的数学描述在设计阶段即可确定其测量方案,避免了CGH检测面临的杂光影响和投影畸变,降低拼接非球面面形的检测难度,实现了零位拼接非球面设计即可检的功能。
本发明授权基于CGH透镜零位补偿检测光路的拼接非球面表征方法在权利要求书中公布了:1.一种基于CGH透镜零位补偿检测光路的拼接非球面表征方法,其特征在于,包括: 设定干涉仪入射波前为平面波,补偿器为单CGH透镜补偿器的零位补偿检测系统中,干涉仪标准镜通光口径为、检测光波长为,单CGH透镜补偿器衍射面相位为、衍射级次为、折射面曲率半径为、单CGH透镜补偿器中心厚度为、单CGH透镜补偿器材料折射率为、单CGH透镜补偿器与非球面的距离为; 根据上述自定义零位拼接非球面的表征参数构建零位补偿检测系统,干涉仪标准镜检测光线平行入射,不同高度、不同衍射级次都对应非球面上不同点,不同衍射面方向分别对应不同的零位拼接非球面不同点;此光路遵循等光程原则、衍射原理、斯涅尔定律,因此光线经非球面反射后沿原光路返回,经过单CGH透镜补偿器后重新形成平面波,在干涉仪内部与参考波发生干涉,从而反映被测非球面的表面信息; 在零位补偿检测系统中,单CGH透镜补偿器以平面二元光学面为基准,衍射面的相位函数为旋转对称式中的二元光学面3或二元光学面4,其中,衍射面的相位函数为二元光学面3时,表征零位拼接双非球面,衍射面的相位函数为二元光学面4时,表征零位拼接多非球面; 检测光线以平面波入射,单CGH透镜补偿器与非球面形成零球差系统,系统遵循等光程原则; 根据等光程原则,选取两条检测光线,其中一条光线为衍射面中心点出射光线,另一条光线为参数追迹光线,即轴外光线;根据所述零位补偿检测系统的参变量,确定参数追迹光线对应光程,并联立两条光程的表达式,得到检测光线与非球面交点点的轨迹方程,即自定义零位拼接非球面的面形表达式; 所述零位拼接非球面为旋转对称曲面,最大有效口径由干涉仪标准镜的实际通光口径决定; 所述二元光学面3支持两个同心径向区域,每个区域有独立半径、圆锥曲线和多项式非球面以及衍射相位分布;所述衍射面的相位函数为二元光学面3时,只考虑两个同心径向区域的衍射相位,二元光学面3的表面被两个径向坐标和分成两个区域,其中; 内部径向区域从表面中心至径向坐标,该内部区域的相位表达式为:,其中为多项式系数的个数,是归一化的径向孔径坐标,是的次幂的系数,是衍射阶数; 外部径向区域从径向坐标至径向坐标,该外部区域的相位表达式为:,其中相位偏移,为多项式系数的个数,是归一化的径向孔径坐标,是的次幂的系数,是衍射阶数; 使得相位在内部区域和外部区域之间的边界处连续,计算时,的值暂设为0,相位差为波长的整数倍,即,其中为任意整数;为满足边界区域相位的连续,计算出的值,并将该值设置为0。
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