北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司王栋获国家专利权
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龙图腾网获悉北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司申请的专利曝光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116755293B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310632211.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光装置是由王栋;齐鹏煜;万冀豫;段皓;肖宇;冯贺设计研发完成，并于2023-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种曝光装置，包括：透光基板；环形框，设于透光基板的一侧，环形框围成的空间与透光基板形成一容置腔；在容置腔处于负压状态时，一掩模板可吸附于环形框背向透光基板的一侧；收纳机构和牵引机构，设于容置腔内；在与透光基板平行的方向上，牵引机构能够远离或靠近收纳机构；柔性遮光膜，柔性遮光膜的一侧与收纳机构连接，柔性遮光膜相反的一侧与牵引机构连接；其中，在牵引机构靠近收纳机构时，收纳机构能够折叠或卷绕柔性遮光膜，在牵引机构远离收纳机构时，柔性遮光膜的至少部分能够展开。本公开能够在曝光过程中进行遮光。
本发明授权曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种曝光装置，其特征在于，包括： 透光基板； 环形框，设于所述透光基板的一侧，所述环形框围成的空间与所述透光基板形成一容置腔；在所述容置腔处于负压状态时，一掩模板可吸附于所述环形框背向所述透光基板的一侧； 收纳机构和牵引机构，设于所述容置腔内；在与所述透光基板平行的方向上，所述牵引机构能够远离或靠近所述收纳机构； 柔性遮光膜，所述柔性遮光膜的一侧与所述收纳机构连接，所述柔性遮光膜相反的一侧与所述牵引机构连接； 其中，在所述牵引机构靠近所述收纳机构时，所述收纳机构能够折叠或卷绕所述柔性遮光膜，在所述牵引机构远离所述收纳机构时，所述柔性遮光膜的至少部分能够展开。
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