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龙图腾网获悉安徽其芒光电科技有限公司申请的专利偏压溅射镀膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116791048B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310783636.7，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权偏压溅射镀膜装置是由王怀民;程序雳;葛鹤龄;姜友松;杨运设计研发完成，并于2023-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本偏压溅射镀膜装置在说明书摘要公布了：本申请公开一种偏压溅射镀膜装置，包括反应容器、基片承载机构、溅射镀膜机构、旋转机构和真空排气机构。反应容器具有真空腔。基片承载机构设置在真空腔内。基片承载机构包括相连接的主体部和挂板部，挂板部设置于主体部的周侧。主体部包括相连的第一导电件和旋转支撑件。挂板部包括与第一导电件电连接的第二导电件、用于放置镀膜基片的偏压块。偏压块采用导电材料制作，与第二导电件电连接。溅射镀膜机构设置在真空腔内。旋转机构用于驱动主体部带动挂板部旋转。旋转机构与旋转支撑件相连。真空排气机构与真空腔连通，用于对真空腔排气抽真空。本说明书所提供的偏压溅射镀膜装置，在满足镀膜工艺要求的高速旋转的同时，能提供稳定可靠的偏压。

本发明授权偏压溅射镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种偏压溅射镀膜装置，其特征在于，包括： 具有真空腔的反应容器； 设置在所述真空腔内用于承载镀膜基片的基片承载机构，包括相连接的主体部和挂板部，所述挂板部设置于所述主体部的周侧；所述主体部包括固定相连的第一导电件和旋转支撑件，所述第一导电件用于引入偏压，所述旋转支撑件用于传递旋转动力；所述挂板部包括与所述第一导电件电连接的第二导电件、以及用于放置所述镀膜基片的偏压块，所述偏压块采用导电材料制作，所述偏压块与所述第二导电件电连接； 设置在所述真空腔内用于对所述镀膜基片进行溅射镀膜的溅射镀膜机构，包括设置在所述真空腔的与所述真空腔的侧壁相连的溅射阴极、以及安装于所述溅射阴极上的靶材，所述靶材朝向所述挂板部设置； 用于驱动所述主体部带动所述挂板部旋转的旋转机构，所述旋转机构与所述旋转支撑件相连； 与所述真空腔连通的真空排气机构，用于对所述真空腔排气抽真空；所述第一导电件和所述第二导电件通过导电部电连接；所述旋转支撑件与所述旋转机构固定相连的一端设有第一挡板，另一端设有第二挡板；所述第二挡板的顶面设有铰链，所述挂板部通过所述铰链与所述主体部相连；所述第一挡板和第二挡板远离所述旋转支撑件的一端与所述挂板部相接触；所述导电部的一部分穿过所述第二挡板与所述第一导电件连接，其余部分位于所述第一挡板、第二挡板、旋转支撑件和挂板部围成的容纳空间内。

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