清华大学赵乾获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利石英摆片变形测量装置及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116878372B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310729535.1,技术领域涉及:G01B7/16;该发明授权石英摆片变形测量装置及测量方法是由赵乾;李慧;邵天敏;王之昂;翁明泽设计研发完成,并于2023-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本石英摆片变形测量装置及测量方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种石英摆片变形测量装置及测量方法,涉及石英加速度器件技术领域。石英摆片变形测量装置包括极板、摆片固定夹具、第一平动平台、第二平动平台及电容测量组件。摆片固定夹具适于固定石英摆片;极板设置于第一平动平台,摆片固定夹具设置于第二平动平台,其中,极板的板面平行于石英摆片;第二平动平台沿第一方向运动,以驱动摆片固定夹具朝向或远离极板运动,其中,第一方向垂直于极板的板面;电容测量组件与极板及石英摆片电连接,适于测量极板与石英摆片之间的电容。本发明提供的石英摆片变形测量装置,可以单独对石英摆片进行变形测量,且测量过程中对石英摆片无损伤,检测效率高,检测精度好。
本发明授权石英摆片变形测量装置及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种石英摆片变形测量装置,其特征在于,包括: 极板; 摆片固定夹具,适于固定石英摆片; 第一平动平台及第二平动平台,所述极板设置于所述第一平动平台,所述摆片固定夹具设置于所述第二平动平台,其中,所述极板的板面平行于所述石英摆片; 所述第二平动平台沿第一方向运动,以驱动所述摆片固定夹具朝向或远离所述极板运动,其中,所述第一方向垂直于所述极板的板面; 电容测量组件,与所述极板及所述石英摆片电连接,适于测量所述极板与所述石英摆片之间的电容,其中,所述极板形成第一电极,所述石英摆片形成第二电极; 所述石英摆片变形测量装置还包括第一固定支架及第二固定支架,所述第一固定支架设置于所述第一平动平台,所述第二固定支架设置于所述第二平动平台;所述极板安装于所述第一固定支架,所述摆片固定夹具安装于所述第二固定支架; 所述摆片固定夹具包括夹具本体及转动台,所述转动台设置于所述第二固定支架,所述夹具本体设置于所述转动台;所述转动台适于驱动所述夹具本体转动; 所述第一平动平台沿第一方向运动,以驱动所述极板朝向或远离所述摆片固定夹具运动;所述第一平动平台包括第一锁止件,适于对所述第一平动平台锁紧定位;所述摆片固定夹具包括拨杆、第二微调器、第二锁止件及第三锁止件;所述拨杆设置于所述转动台,适于驱动所述转动台转动;所述第二微调器适于驱动所述转动台转动;所述第二锁止件及所述第三锁止件适于对所述转动台锁紧定位。
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