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昆明物理研究所杨顺虎获国家专利权

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龙图腾网获悉昆明物理研究所申请的专利一种判断红外焦平面器件倒装互连连通异常的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116973362B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310829860.5,技术领域涉及:G01N21/84;该发明授权一种判断红外焦平面器件倒装互连连通异常的方法是由杨顺虎;王琼芳;唐遥;李雄军;张莹;郭瑞;张学斌设计研发完成,并于2023-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

一种判断红外焦平面器件倒装互连连通异常的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种判断红外焦平面器件倒装互连连通异常的方法,包括:在读出电路的四个角上选取同一层layout层做为基准面,同时该基准面要靠近红外探测器焦平面的增透膜;对红外测器焦平面四个角进行3D测量,测量区域需要包含红外探测器焦平面的增透膜和所找到的读出电路上同一层layout层;对测量区域进行高度测量,测量增透膜到读出电路的高度;计算四个角的高度差,然后判断倒装互连是否异常。本发明可以快速、有效判断连通异常是否有倒装互连异常导致的,并且不会对红外焦平面造成任何损伤。

本发明授权一种判断红外焦平面器件倒装互连连通异常的方法在权利要求书中公布了:1.一种判断红外焦平面器件倒装互连连通异常的方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1,准备一台具有3D测量的显微镜和一个需要测试的采用倒装互连工艺制作的红外探测器焦平面,所述红外探测器焦平面器件由读出电路、碲镉汞薄膜、增透膜和填充胶组成; 步骤2,在显微镜视野下找到红外探测器读出电路上四个角落上的同一层layout层做为基准面,这个位置要靠近红外探测器焦平面的增透膜; 步骤3,对步骤2中找到的四个角落区域进行3D测量,测量区域需要包含读出电路的基准面和红外探测器焦平面的增透膜区域; 步骤4,对步骤3中得到3D测量图进行高度测量,测量增透膜到步骤2中读出电路上选定基准面的高度; 步骤5,利用步骤4中得到的高度计算四个点的相对高度差,根据每个测量点的相对高度差是否超过阈值判断是否存在倒装互连连通异常; 所述增透膜的高度差记为Δh1,所述碲镉汞薄膜的厚度差记为Δh2,铟柱的高度差记为Δh3;当增透膜到读出电路上的相对高度差超过阈值ΔH=Δh1+Δh2+Δh3,视为倒装互连连通异常。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人昆明物理研究所,其通讯地址为:650221 云南省昆明市五华区教场东路31号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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