江西洪都航空工业集团有限责任公司徐雪源获国家专利权
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龙图腾网获悉江西洪都航空工业集团有限责任公司申请的专利一种多元复合碳化物涂层获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117286467B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311255815.X,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种多元复合碳化物涂层是由徐雪源;李旭勇;李琼;吴宁;黄勇;张东升;胡忠卿;夏媛;毛萍萍;陈宇;高鑫;熊财梓设计研发完成,并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多元复合碳化物涂层在说明书摘要公布了:一种多元复合碳化物涂层,其化学组分包括碳化物形成元素、非碳化物形成元素及非金属元素,所述碳化物形成元素为Cr、W和Mo元素,所述非碳化物形成元素为Cu元素,所述非金属元素为Si和C;制备时先将轴承钢基体清洗后,再进行磁控溅射,以在轴承钢基体表面得到多元复合碳化物涂层;所述磁控溅射的靶材为集成共溅射靶,集成共溅射靶有利于均匀涂层内的成分和组织,所述集成共溅射靶包括Cr靶、W靶、Cu靶、Si靶和Mo靶;所述磁控溅射的反应气体为保护气和气态烃的混合气,用于进行气相沉积。本发明制备的多元复合碳化物涂层具有高硬度、高耐磨、高韧性、低摩擦系数和低应力以及高涂层‑基体结合力。
本发明授权一种多元复合碳化物涂层在权利要求书中公布了:1.一种多元复合碳化物涂层,其特征在于,该涂层化学组分包括碳化物形成元素、非碳化物形成元素及非金属元素,所述碳化物形成元素为Cr、W和Mo元素,所述非碳化物形成元素为Cu元素,所述非金属元素为Si和C;且所述Cr、W、Mo、Cu及Si元素的摩尔数之和与C元素的摩尔比为1:1~2,所述Cr和Si的摩尔比为0.8~1.2:0.8~1.2; 采用真空磁控溅射系统制备上述多元复合碳化物涂层,所述真空磁控溅射系统包括真空室、设置有集成共溅射靶的磁控溅射源、离子源及用于承载轴承钢基体的工件支架,且工件支架安装在真空室内部中心,具体步骤如下: 1先将轴承钢基体抛光后清洗、干燥,而后将干燥后的轴承钢基体安装在工件支架上,利用分子泵将真空室的真空度抽至2.0×10-3Pa以下,再通入高纯度的氩气,以保持真空室的气压;设置离子源中离子束的电压、偏压,对轴承钢基体进行等离子体清洗; 2磁控溅射源中的集成共溅射靶包括Cr靶、W靶、Cu靶、Si靶和Mo靶,开启磁控溅射源,向磁控溅射源通入保护气体,向离子源内通入具有一定分压比的反应气体,对偏压设置完成的轴承钢基体进行磁控溅射与气相沉积; 所述Cr靶、W靶、Cu靶、Si靶和Mo靶的纯度均大于99.99%,且所述Cr靶的溅射功率为200~300W,所述W靶的溅射功率为180~280W,所述Cu靶的溅射功率为180~240W,所述Si靶的溅射功率为280~320W,所述Mo靶的溅射功率为200~250W;所述轴承钢基体的偏压为-80~-600V; 3在步骤2完成后,关闭电源,待真空室温度降至室温,打开真空室取出轴承钢基体,在轴承钢基体表面形成的涂层即为多元复合碳化物涂层。
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