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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第五十四研究所申请的专利基于共用复合梁的小型太赫兹MEMS单刀四掷开关获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117317543B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311318840.8，技术领域涉及：H01P1/10；该发明授权基于共用复合梁的小型太赫兹MEMS单刀四掷开关是由杨光耀;张乃柏;宋瑞良;刘宁;邓琨设计研发完成，并于2023-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于共用复合梁的小型太赫兹MEMS单刀四掷开关在说明书摘要公布了：本发明公开了基于共用复合梁的小型太赫兹MEMS单刀四掷开关，属于射频MEMS技术领域。其基于整体梁的单刀四掷开关由微带主馈线、分叉过渡结构、低损耗开关结构和微带输出线组成。MEMS开关由金属‑介质整体复合梁形成高隔离度对称结构，结合鹤形臂与共用折合臂使开关具有极小型化尺寸和低下拉电压，通过底部电极和共用梁金属部分之间电势差产生的静电力吸附，使梁的相应部分下拉，梁上金属触点使相应微带输出线导通；当其中一路MEMS开关线路导通，而其它线路MEMS开关断开时，即完成信号传递。该可重构开关由四个非对称单刀单掷开关单元通过对称紧凑排布而成，在超宽频带内具有高隔离度，在DC‑350GHz频段内通路反射系数小于‑15dB，带内插损小于1.8dB，隔离度大于15dB。

本发明授权基于共用复合梁的小型太赫兹MEMS单刀四掷开关在权利要求书中公布了：1.基于共用复合梁的小型太赫兹MEMS单刀四掷开关，其特征在于，包括微带一级馈线1，梯形突出分叉结构2、电压偏置线组、异形MEMS开关和微带二级馈线20、21、22、23； 所述梯形突出分叉结构2由T型结功分器和两个梯形件构成，其中，两个梯形件与T型结功分器的两个末端一一对应；所述梯形件的下底边紧贴于T型结功分器末端的一侧，两个梯形件以同一朝向分别位于T型结功分器的两输出端； 所述微带一级馈线的输出端与T型结功分器的输入端连接；T型结功分器的末端和梯形件的上底边均通过异形MEMS开关与微带二级馈线一一连接，且异形MEMS开关与微带二级馈线一一对应； 四个异形MEMS开关共用同一弹性介质膜桥7，每一异形MEMS开关上的金属桥状通路和下拉金属梁均位于弹性介质膜桥的下表面；所述弹性介质膜桥和下拉金属梁均通过对应的金属桥墩支撑并悬空，且下拉金属梁的下方设有下拉电极；所述电压偏置线组与对应的下拉电极和金属桥墩连接；所述金属桥状通路的两端分别用于连接微带一级馈线和微带二级馈线； 属同一异形MEMS开关上的金属桥状通路和下拉金属梁相邻并且无接触, 两个与梯形件上底边对应的异形MEMS开关共用下拉金属桥，共用下拉金属桥为日字型结构； 两个与T型结功分器输出端对应的异形MEMS开关的下拉金属桥均为口字型结构。

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