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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种石英管清洗方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117415082B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311662734.1，技术领域涉及：B08B3/04；该发明授权一种石英管清洗方法和系统是由郑金龙;王国超;周铁军;马金峰设计研发完成，并于2023-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种石英管清洗方法和系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种石英管清洗方法和系统，方法包括通过石英管清洗装置内的处理器当接收到清洗指令时，调用钩取机构钩取石英管，将石英管移动至第一浓硫酸槽进行过酸清洗，在完成过酸清洗后，通过钩取机构将石英管移动至第二浓硫酸槽进行第二次过酸清洗，同时回收第一浓硫酸槽内的浓硫酸，待回收完成后向所述第一浓硫酸槽中注入纯水，调用钩取机构将石英管再次移动至第一浓硫酸槽，按照预设的冲水时长对石英管进行纯水冲洗，当纯水冲洗完成后，调用钩取机构将石英管移动至清洗槽，通过清洗槽中的清洗组件进行冲洗并吹干后，将石英管移动至目标存储位置，从而实现对石英管的自动化清洗，有效提高石英管的清洗效率和清洗洁净度。

本发明授权一种石英管清洗方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种石英管清洗方法，其特征在于，应用于石英管清洗装置内的处理器，所述石英管清洗装置包括钩取机构、第一浓硫酸槽、第二浓硫酸槽和清洗槽；所述方法包括： 当接收到清洗指令时，调用钩取机构钩取石英管； 调用所述钩取机构将所述石英管移动至所述第一浓硫酸槽进行过酸清洗； 通过所述钩取机构将所述石英管移动至所述第二浓硫酸槽进行过酸清洗，并回收所述第一浓硫酸槽内的浓硫酸，向所述第一浓硫酸槽中注入纯水； 通过所述钩取机构将所述石英管再次移动至所述第一浓硫酸槽，按照预设的冲水时长对所述石英管进行纯水冲洗； 当所述纯水冲洗完成后，调用所述钩取机构将所述石英管移动至所述清洗槽进行冲洗并吹干后，移动至目标存储位置； 所述石英管清洗装置还包括储酸组件和连接至所述第一浓硫酸槽的进水管道，所述储酸组件与所述第一浓硫酸槽通过耐酸管道连接，所述耐酸管道上设有循环泵；所述通过所述钩取机构将所述石英管移动至所述第二浓硫酸槽进行过酸清洗，并回收所述第一浓硫酸槽内的浓硫酸，向所述第一浓硫酸槽中注入纯水的步骤，包括： 通过所述钩取机构将所述石英管移动至所述第二浓硫酸槽进行过酸清洗； 开启所述循环泵，沿所述耐酸管道回收所述第一浓硫酸槽内的浓硫酸至所述储酸组件，并实时监测所述第一浓硫酸槽内浓硫酸的液位； 当所述液位小于第一预设液位阈值时，导通所述进水管道，向所述第一浓硫酸槽中注入纯水，直至所述第一浓硫酸槽内的水位达到预设进水高度； 所述储酸组件内设有加热器件；所述方法还包括： 当所述第一浓硫酸槽内的浓硫酸被回收至所述储酸组件后，调用所述加热器件按照预设的加热温度对回收的浓硫酸进行加热并保温； 所述第一浓硫酸槽的底部还设有排水口；所述通过所述钩取机构将所述石英管再次移动至所述第一浓硫酸槽，按照预设的冲水时长对所述石英管进行纯水冲洗的步骤，包括： 当所述第一浓硫酸槽内的水位达到预设进水高度时，通过所述钩取机构将所述石英管再次移动至所述第一浓硫酸槽内进行浸泡； 当浸泡时间达到预设浸泡时长时，开启所述排水口，直至所述第一浓硫酸槽内的水位下降至零； 导通所述进水管道，按照预设喷淋时长对所述石英管进行喷淋冲洗，并开启所述排水口，直至达到预设喷淋时长。

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