上海盛剑半导体科技有限公司张伟明获国家专利权
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龙图腾网获悉上海盛剑半导体科技有限公司申请的专利一种控温设备及控温方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117492489B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311772814.2,技术领域涉及:G05D23/20;该发明授权一种控温设备及控温方法是由张伟明;文志程设计研发完成,并于2023-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种控温设备及控温方法在说明书摘要公布了:本发明的实施例提供了一种控温设备及控温方法,涉及半导体技术领域。控温设备包括预控温系统、循环系统和处理装置,预控温系统包括涡流管、输气装置、第一换热装置和第二换热装置,涡流管的进气口连接输气装置,涡流管的第一出口连通第一换热装置的换热剂入口,涡流管的第二出口连通第二换热装置的换热剂入口。循环系统包括循环泵和循环水箱,循环泵的出液口分别于第一换热装置的进液口和第二换热装置的进液口连通;循环水箱的出液口与循环泵连通,循环水箱的进液口用于与负载设备输出端连通。处理装置的出液口与负载设备输入端连通。其能够降低温度波动范围,提高PID控制精度。且能降低制冷加热装置的使用功率,提高制冷效率。
本发明授权一种控温设备及控温方法在权利要求书中公布了:1.一种控温设备,其特征在于,包括: 预控温系统100,所述预控温系统100包括涡流管110、输气装置140、第一换热装置120和第二换热装置130,所述涡流管110的进气口连接所述输气装置140,所述涡流管110的第一出口连通所述第一换热装置120的换热剂入口,所述涡流管110的第二出口连通所述第二换热装置130的换热剂入口; 循环系统200,所述循环系统200包括循环泵210和循环水箱220,所述循环泵210的出液口分别与所述第一换热装置120的进液口和所述第二换热装置130的进液口连通;所述循环水箱220的出液口与所述循环泵210连通,所述循环水箱220的进液口用于与负载设备500的输出端连通; 处理装置300,所述处理装置300的进液口分别与所述第一换热装置120的出液口和所述第二换热装置130的出液口连通;所述处理装置300的出液口与所述负载设备500的输入端连通。
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