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龙图腾网获悉深圳市埃芯半导体科技有限公司申请的专利一种多功能无痕搬运晶圆末端执行器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120388929B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510450898.0，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权一种多功能无痕搬运晶圆末端执行器是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多功能无痕搬运晶圆末端执行器在说明书摘要公布了：本发明提供一种多功能无痕搬运晶圆末端执行器，其中：所述晶圆手指一侧设有气流槽，所述气流槽上设置有若干连接孔位，所述吸附装置通过连接孔位固定连接在晶圆手指上，所述气流槽终端设有真空抽孔；所述吸附装置包括弹性吸盘和无痕接触垫，其中：所述弹性吸盘顶部通过连接孔位固定连接在晶圆手指上；所述无痕接触垫可拆卸连接在弹性吸盘底部；所述弹性吸盘内部与所述气流槽相通；所述真空抽孔与真空泵连接，所述真空泵用于使所述弹性吸盘内部形成真空环境，以使所述无痕接触垫底部接触面与待搬运晶圆表面紧密接触，实现晶圆的无痕搬运。本发明提出的一种多功能无痕搬运晶圆末端执行器，实现了同一末端执行器多种传输方式的兼容。

本发明授权一种多功能无痕搬运晶圆末端执行器在权利要求书中公布了：1.一种多功能无痕搬运晶圆末端执行器，包括晶圆手指和与所述晶圆手指可拆卸连接的运转机械臂，其特征在于，基于若干个吸附装置的可拆卸结构，实现通过替换不同型号的无痕接触垫改变吸附装置的吸附原理或吸附装置产生吸附的个数，还包括：若干吸附装置和真空泵，其中： 所述晶圆手指一侧设有气流槽，所述气流槽上设置有若干连接孔位，所述吸附装置通过连接孔位固定连接在晶圆手指上，所述气流槽终端设有真空抽孔； 所述吸附装置包括弹性吸盘和无痕接触垫，其中：所述弹性吸盘顶部通过连接孔位固定连接在晶圆手指上；所述无痕接触垫可拆卸连接在弹性吸盘底部；所述弹性吸盘内部与所述气流槽相通； 所述真空抽孔与真空泵连接，所述真空泵用于使所述弹性吸盘内部形成真空环境，以使所述无痕接触垫底部接触面与待搬运晶圆表面紧密接触，实现晶圆的无痕搬运； 所述无痕接触垫上部设置有卡环；所述无痕接触垫通过所述卡环可拆卸地卡接在所述弹性吸盘腔体内； 所述无痕接触垫包括真空吸盘垫，其中：所述真空吸盘垫用于在所述真空泵启动时，使得所述弹性吸盘内部形成真空环境，进而使所述待搬运晶圆表面被吸附在真空吸盘垫底部接触面上，实现晶圆的无痕搬运； 所述无痕接触垫包括气旋吸盘垫，其中：所述气旋吸盘垫侧边设置有气旋喷口，所述气旋吸盘垫可拆卸连接在弹性吸盘底部时，所述气旋喷口与所述气流槽相通；所述气旋吸盘垫用于在从真空抽孔处向所述气流槽提供供给气体时，所述供给气体通过气流槽流经气旋喷口处高速喷出，并在所述气旋吸盘垫内部形成旋转气流，以基于所述旋转气流使得待搬运晶圆表面两侧形成压差，进而基于所述压差使得待搬运晶圆表面被吸附在气旋吸盘垫底部接触面上； 所述无痕接触垫包括实心吸盘垫，其中：任意所述吸附装置由所述弹性吸盘和所述实心吸盘垫可拆卸连接组成时，该吸附装置无法吸附待搬运晶圆。

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