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龙图腾网获悉苏州冠礼科技有限公司申请的专利一种晶圆蚀刻辅助装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120809619B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510934203.6，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种晶圆蚀刻辅助装置是由黄自柯;丁剑;李晓华;蒋辉;张雨设计研发完成，并于2025-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆蚀刻辅助装置在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆蚀刻技术领域，且公开了一种晶圆蚀刻辅助装置，包括壳体，壳体的底部固定连接有接口，壳体的内部固定安装有控制器，控制器的内部固定安装有控制阀，壳体的上表面固定连接有底座，底座的上表面固定连接有卡板，卡板的下表面固定安装有多个电极。本发明通过电磁铁通电，使其吸附正下方的铁片，从而带动扇形板向下移动，形成冷却气体通过的凹槽，扇形板还会通过滑块带动挡板向下移动，使移动板带动密封环向下滑动，从而使出气套内部的气体可以排出并进入凹槽，而冷却的气体会沿着凹槽向外侧流动，直至排出，从而使冷却的气体会对晶圆的底部进行均匀散热，从而解决现有设备晶圆与设备接触的区域散热效果较差的问题。

本发明授权一种晶圆蚀刻辅助装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆蚀刻辅助装置，包括壳体1，所述壳体1的底部固定连接有接口2，所述壳体1的内部固定安装有控制器3，所述控制器3的内部固定安装有控制阀4，其特征在于，所述壳体1的上表面固定连接有底座5，所述底座5的上表面固定连接有卡板6，所述卡板6的下表面固定安装有多个电极7，所述电极7的两端均固定连接有电气接头8，所述卡板6的上表面固定连接有顶盖9，所述顶盖9的中部固定连接有缺口环10； 多个调节机构11，多个所述调节机构11设置在顶盖9的上表面； 固定环12，所述固定环12固定连接在卡板6的中部，所述固定环12的上表面固定连接有弹簧13，所述弹簧13的上端固定连接有移动板14，所述移动板14的上表面固定连接有密封环15，所述密封环15的中部设置有与固定环12固定连接的出气套16； 所述底座5包括座体51，所述座体51的上表面开设有多个气腔52，相邻的两个所述气腔52之间开设有出气口53，所述出气口53的内部固定安装有单向阀54； 所述调节机构11包括两个弹性块111，两个所述弹性块111的上部固定连接有扇形板112，所述扇形板112的下表面中部开设有矩形槽113，所述矩形槽113的内部固定安装有电磁铁114，所述扇形板112的内端固定连接有滑块115，所述滑块115的内侧固定连接有挡板116，所述电磁铁114下方设置有铁片117。

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