上海交通大学史汝川获国家专利权
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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利声表面波传感器及其封装结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120991924B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511192868.0，技术领域涉及：G01D5/48；该发明授权声表面波传感器及其封装结构是由史汝川;韩文豪;韩韬;郭大鹏设计研发完成，并于2025-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本声表面波传感器及其封装结构在说明书摘要公布了：本发明提供一种声表面波传感器及其封装结构，基于POI压电基底与多功能反射栅布局，将温度、压力及加速度敏感单元高度集成于单一芯片，为了实现多传感量的解耦，分别设计位于均匀叉指换能器两侧的两个参考栅，以及一组加速度测量反射栅、温度测量反射栅和压力测量反射栅，其中，两个参考栅用于敏感量的差分时延测量，温度测量反射栅设置在靠近参考栅，有效保证测温不受其他传感量影响，有效抑制环境噪声干扰；实现了温度、压力及加速度多参量信号的高效分离与同步检测，避免了传统多叉指换能器结构的电磁耦合问题；声表面波传感器封装结构采用SMD封装结构，器件整体结构紧凑，大幅降低了复杂环境下的安装难度与系统维护成本。
本发明授权声表面波传感器及其封装结构在权利要求书中公布了：1.一种声表面波传感器，其特征在于，所述声表面波传感器包括：压电基底，设置于所述压电基底上的声表面波均匀叉指换能器、温度测量反射栅、压力测量反射栅、加速度测量反射栅及两个参考栅，键合于所述压电基底下的衬底；其中， 所述均匀叉指换能器用于激发和接收声表面波； 所述压电基底为由高阻衬底层、绝缘层及压电单晶层构成的POI压电基底； 两个所述参考栅分别设置在靠近所述均匀叉指换能器的两侧； 所述压力测量反射栅及所述加速度测量反射栅分别设置在远离所述均匀叉指换能器的两侧； 所述温度测量反射栅设置在与所述压力测量反射栅位于所述均匀叉指换能器同一侧的所述参考栅与所述压力测量反射栅之间； 所述衬底至少将所述加速度测量反射栅下方的所述压电基底露出，以形成悬臂梁； 所述温度测量反射栅与所述压力测量反射栅之间的所述压电基底中形成有贯穿所述高阻衬底层及所述绝缘层的测压腔。
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