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龙图腾网获悉青岛理工大学申请的专利一种气体温度可控供给的自动化CVD气相沉积设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121380911B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511663764.3，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种气体温度可控供给的自动化CVD气相沉积设备及方法是由张彦彬;李开耀;李长河;吴阳;郭建明;张效天;郭建军;崔歆;刘明政;杨敏;高腾;李本凯;戴景杰设计研发完成，并于2025-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气体温度可控供给的自动化CVD气相沉积设备及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种气体温度可控供给的自动化CVD气相沉积设备及方法，解决了现有技术中CVD气相沉积炉无法保证进入反应炉内气体的压力和温度的问题，具有提高镀层质量的有益效果，具体方案如下：一种气体温度可控供给的自动化CVD气相沉积设备，包括依次连接的分段往复增压机构、储气加热机构和CVD反应炉，分段往复增压机构包括气体增压室，气体增压室分隔成多室，气体增压室的各室分别设置推板，推板与推动组件连接，推板周侧与气体增压室密闭接触，推板与气体增压室的顶部通过弹性件连接，气体增压室顶板、推板分别与储气源连通，气体增压室底板、推板分别与储气加热机构连通，储气加热机构的腔体与气体增压室的各室一一对应。

本发明授权一种气体温度可控供给的自动化CVD气相沉积设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种气体温度可控供给的自动化CVD气相沉积设备，其特征在于，包括依次连接的分段往复增压机构、储气加热机构和CVD反应炉，分段往复增压机构包括气体增压室，气体增压室分隔成多室，每一室用于通入不同的气体，气体增压室的各室分别设置推板，推板与推动组件连接，推板周侧与气体增压室密闭接触，推板与气体增压室的顶部通过弹性件连接，气体增压室顶板、推板分别与储气源连通，气体增压室底板、推板分别与储气加热机构连通，储气加热机构分为多个腔体，储气加热机构的腔体与气体增压室的各室一一对应，CVD反应炉内设置基材托台； 所述储气源通过增压进气管与所述气体增压室顶板、推板分别连通，部分所述增压进气管穿过所述气体增压室的顶部与所述推板连接，推板设置开孔使得该增压进气管与推板下侧的区域连通，增压进气管在气体增压室的室内部分为伸缩管；部分增压出气管穿过气体增压室的底部与推板连接，推板设置开孔使得该增压出气管与推板上侧的区域连通，增压出气管在气体增压室的室内部分为伸缩管； 所述储气加热机构包括箱体，箱体内设置所述的腔体，每一腔体中均设置加热电阻丝，加热电阻丝布设于腔体的顶部和底部；加热电阻丝包括门型段和S型段，S型段置于门型段的内侧，S型段的两端分别与门型段的两端连接，加热电阻丝门型段和S型段之间留有空隙。

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