宁波阿尔法半导体有限公司王涛获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波阿尔法半导体有限公司申请的专利一种碳化硅晶棒的切割方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121624971B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610163151.1，技术领域涉及：B24B27/06；该发明授权一种碳化硅晶棒的切割方法是由王涛;浩瀚;赵新田设计研发完成，并于2026-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅晶棒的切割方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种碳化硅晶棒的切割方法，包括：提供待切割晶棒，晶棒具有一沿轴向延伸的圆弧形外周面；确定晶棒在切割方向上的入刀顶点，并在入刀顶点处粘接牺牲组件，牺牲组件覆盖入刀顶点并沿晶棒的轴向延伸，粘接剂形成刚性粘接胶层，控制切割线网沿垂直于晶棒轴向的方向进给，使切割线网先切入牺牲组件，再切入晶棒内部，牺牲组件的材质与晶棒的材质相同，或者牺牲组件的维氏硬度与晶棒的维氏硬度偏差绝对值小于预设阈值，以使切割线网从牺牲组件切入晶棒时保持切削应力的连续性，避免切割线轴向窜动导致的入刀线痕，减少晶片在入刀位置的形变量，有效降低晶片翘曲度、弯曲度，降低额外返修的概率，以解决线痕导致的晶片直接报废问题。
本发明授权一种碳化硅晶棒的切割方法在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶棒的切割方法，其特征在于，包括： S100、提供待切割晶棒，所述晶棒具有一沿轴向延伸的圆弧形外周面； S200、确定所述晶棒在切割方向上的入刀顶点，并在所述入刀顶点处粘接牺牲组件，所述牺牲组件覆盖所述入刀顶点并沿所述晶棒的轴向延伸，粘接剂形成刚性粘接胶层； S300、控制切割线网沿垂直于所述晶棒轴向的方向进给，使所述切割线网先切入所述牺牲组件，再切入所述晶棒内部，所述牺牲组件的材质与所述晶棒的材质相同，或者所述牺牲组件的维氏硬度与所述晶棒的维氏硬度偏差绝对值小于预设阈值，以使所述切割线网从所述牺牲组件切入所述晶棒时保持切削应力的连续性； 步骤S300中，所述预设阈值为200HV； 所述粘接胶层的厚度控制在2μm-10μm之间，所述粘接胶层的邵氏硬度D大于80。
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