拉普拉斯(西安)科技有限责任公司王国进获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(西安)科技有限责任公司申请的专利工艺炉及工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224230656U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520975095.2，技术领域涉及：F27B9/24；该实用新型工艺炉及工艺设备是由王国进;李明;李亮生设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本工艺炉及工艺设备在说明书摘要公布了：本公开涉及半导体和光伏技术领域，尤其涉及一种工艺炉及工艺设备，解决相关技术中退火效率较低导致产能无法进一步提升的问题。该工艺炉及工艺设备包括炉体和多组进气组件，炉体的工艺腔室包括沿第一方向布置的多个子腔室，每一子腔室被配置为容置一承载组件；进气组件相对设置于每一子腔室在第一方向的两侧，每一进气组件与第一进气口连通，进气组件设有与第一进气口连通的多个出气孔，在子腔室容置有承载组件的情况下，出气孔朝向承载组件，多个出气孔被配置使从第一进气口进入的气体朝向片材扩散。本公开提供的工艺炉及工艺设备，能够满足更多片材同时进行退火的退火均匀性和退火效率，进一步提升退火的产能。
本实用新型工艺炉及工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种工艺炉，其特征在于，被配置为对片材进行工艺，多个所述片材被承载件所承载，每一个或多个所述承载件作为一承载组件，所述工艺炉包括： 炉体，具有至少一个工艺腔室，所述工艺腔室设有至少一个第一进气口，所述工艺腔室包括沿第一方向布置的多个子腔室，每一所述子腔室被配置为容置一所述承载组件，且被容置的所述承载组件中所承载的所述片材的延伸方向平行于所述第一方向；以及 多组进气组件，相对设置于每一所述子腔室在所述第一方向的两侧，每一所述进气组件与所述第一进气口连通，所述进气组件设有与所述第一进气口连通的多个出气孔，在所述子腔室容置有所述承载组件的情况下，所述出气孔朝向所述承载组件，多个所述出气孔被配置使从所述第一进气口进入的气体朝向所述片材扩散。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯(西安)科技有限责任公司，其通讯地址为：713700 陕西省西安市西咸新区泾河新城崇文镇泾河三街76号光电子学研究与创新中心3号楼3-4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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