山西华耀亿嘉集成电路有限公司申璐曼获国家专利权
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龙图腾网获悉山西华耀亿嘉集成电路有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234138U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521125624.6，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆清洗装置是由申璐曼;颉信忠;刘天生设计研发完成，并于2025-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种清洗装置，属于晶圆生产技术领域，具体是一种晶圆清洗装置，包括冲洗架，冲洗架的内壁滑动连接有移动块，移动块底部固定连接有冲洗板，还包括放置台，放置台位于冲洗板的下方，放置台上设置有放置架，放置架包括多个互相连接的卡板，卡板内转动连接有转轮；辅助板，辅助板固定连接于冲洗架内壁，辅助板的内壁转动连接有辅助清洗辊，辅助板的一侧固定连接有辅助电机，辅助电机的输出端与辅助清洗辊同轴固定；固定件，固定件位于放置架内，部分固定件与放置架相贴合；本实用新型能够对晶圆的两面以及侧边边缘进行清洗，达到更好的清洗效果；解决了现有的清洗装置存在清洗不够全面，清洗效果欠佳的问题。
本实用新型一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，包括冲洗架1，其特征在于：所述冲洗架1的内壁滑动连接有移动块2，所述移动块2底部固定连接有冲洗板3，还包括； 放置台4，所述放置台4位于冲洗板3的下方，所述放置台4上设置有放置架5，所述放置架5包括多个互相连接的卡板501，所述卡板501内转动连接有转轮502； 辅助板6，所述辅助板6固定连接于冲洗架1内壁，所述辅助板6的内壁转动连接有辅助清洗辊7，所述辅助板6的一侧固定连接有辅助电机8，所述辅助电机8的输出端与辅助清洗辊7同轴固定； 固定件9，所述固定件9位于放置台4内，部分所述固定件9与放置架5相贴合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人山西华耀亿嘉集成电路有限公司，其通讯地址为：046000 山西省长治市长治高新技术产业开发区翟店工业园区新高地数智未来城34#A栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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