北京北方华创微电子装备有限公司于鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利承载装置及半导体工艺腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234145U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520706945.9，技术领域涉及：H10P72/10；该实用新型承载装置及半导体工艺腔室是由于鹏;闫志顺;赵福平;韩天棋;周振溪;胡子辰;李补忠设计研发完成，并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本承载装置及半导体工艺腔室在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种承载装置及半导体工艺腔室，所公开的承载装置01包括依次堆叠的多个承载舟10，其中，相邻的两个所述承载舟10中的至少一者设有间隔部件16，相邻的两个所述承载舟10通过至少两个所述间隔部件16支撑配合并通过所述至少两个间隔部件16间隔分布；所述至少两个间隔部件16间隔分布。上述方案能解决背景技术中所述的承载舟之间通过安装座堆叠支撑，会导致半导体片材工艺均匀性不佳的问题。
本实用新型承载装置及半导体工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种承载装置，其特征在于，包括依次堆叠的多个承载舟10，其中，相邻的两个所述承载舟10中的至少一者设有间隔部件16，相邻的两个所述承载舟10通过至少两个所述间隔部件16支撑配合并通过所述至少两个间隔部件16间隔分布；所述至少两个间隔部件16间隔分布。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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