青岛贝斯兰半导体科技有限公司陈延兵获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛贝斯兰半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆夹持装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234169U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520989689.9，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种晶圆夹持装置是由陈延兵;任广杰;常胜设计研发完成，并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆夹持装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆夹持装置，属于半导体加工技术领域，装置包括：晶圆旋转盘，周向设置有至少四个安装孔；卡盘销，所述卡盘销可活动地设置于所述安装孔内，所述卡盘销包括上下卡接的固定部和替换部，所述替换部包括卡盘托和夹持件，所述夹持件的上端面高于卡盘托的上端面，所述卡盘托与夹持件一体成型且能够绕卡盘托的轴线旋转，所述卡盘托上表面用于承托晶圆，所述夹持件绕卡盘托的轴线旋转后用于夹持晶圆；驱动机构，所述驱动机构用于驱动晶圆旋转盘绕其轴线转动，并能够驱动卡盘销绕所述卡盘托的轴线转动。通过晶圆夹持装置整体设计，解决了卡盘销磨损带来的问题，提高了替换工作的效率，并优化了经验夹持的稳定性，节约生产成本。
本实用新型一种晶圆夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹持装置，其特征在于，包括： 晶圆旋转盘，所述晶圆旋转盘中间设置有圆孔，且周向设置有至少四个安装孔； 卡盘销，所述卡盘销可活动地设置于所述安装孔内，所述卡盘销包括上下卡接的固定部和替换部，所述替换部包括卡盘托和夹持件，所述夹持件的上端面高于卡盘托的上端面，所述卡盘托与夹持件一体成型且能够绕卡盘托的轴线旋转，所述卡盘托上表面用于承托晶圆，所述夹持件绕卡盘托的轴线旋转后用于夹持晶圆； 驱动机构，所述驱动机构用于驱动晶圆旋转盘绕其轴线转动，并能够驱动卡盘销绕所述卡盘托的轴线转动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人青岛贝斯兰半导体科技有限公司，其通讯地址为：266500 山东省青岛市中国(山东)自由贸易试验区青岛片区牧马山路11号智造谷5#楼厂房1-3层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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