芯恩(青岛)集成电路有限公司李宁宁获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234176U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521023225.9，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种晶圆吸附装置是由李宁宁设计研发完成，并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆吸附装置，包括固定座，所述固定座上布设有多个真空吸盘组件，所述真空吸盘组件用于吸附固定晶圆；其中，所述真空吸盘组件包括：支撑机构，连接于所述固定座；真空吸盘，所述真空吸盘通过转动连接机构连接于所述支撑机构背离所述固定座的一端，且所述真空吸盘的轴线和所述支撑机构的轴线之间的夹角可调节，所述真空吸盘用于通过负压吸附晶圆的背面。本实用新型的晶圆吸附装置通过采用多个真空吸盘组合的结构形式对晶圆进行真空吸附，克服了现有技术中由于晶背脏污、晶圆翘曲导致的晶圆无法被真空吸盘固定的问题。
本实用新型一种晶圆吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸附装置，其特征在于，包括固定座，所述固定座上布设有多个真空吸盘组件，所述真空吸盘组件用于吸附固定晶圆； 其中，所述真空吸盘组件包括： 支撑机构，连接于所述固定座； 真空吸盘，所述真空吸盘通过转动连接机构连接于所述支撑机构背离所述固定座的一端，且所述真空吸盘的轴线和所述支撑机构的轴线之间的夹角可调节，所述真空吸盘用于通过负压吸附晶圆的背面； 所述支撑机构包括支撑杆，所述支撑杆内部具有第一气体流道；所述第一气体流道与抽气装置连通；所述转动连接机构包括第二气体流道，所述第二气体流道与所述第一气体流道连通，所述第二气体流道与所述真空吸盘连通； 所述转动连接机构包括第一接头和第二接头，所述第一接头与所述支撑杆连接，所述第二接头与所述真空吸盘连接；所述第一接头和第二接头通过球面副转动连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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