芯恩(青岛)集成电路有限公司程翔获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利晶圆正反面的检测装置及翻面清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234180U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521014193.6，技术领域涉及：H10P74/00；该实用新型晶圆正反面的检测装置及翻面清洗设备是由程翔;李苗苗设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆正反面的检测装置及翻面清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆正反面的检测装置及翻面清洗设备，包括：检测机构，设于翻面清洗设备中用于暂存晶圆的暂存区，用于检测待测晶圆的检测面上是否具有所述待测晶圆正面的芯粒和凹槽结构，若是，则判断所述检测面为晶圆正面；若否，则判断所述检测面为晶圆背面。本实用新型通过在翻面清洗设备中设置检测机构，当所述翻面清洗设备宕机时，所述检测装置对从所述晶圆正洗腔室或所述晶圆背洗腔室中取出的待测晶圆进行晶圆正反面的检测，无需将待测晶圆传送至另外的分选机台或传片机台进行检测，可以有效防止不同机台间的交叉污染，同时也降低人力成本。
本实用新型晶圆正反面的检测装置及翻面清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆正反面的检测装置，其特征在于，包括： 检测机构，设于翻面清洗设备中用于暂存晶圆的暂存区，用于检测待测晶圆的检测面上是否具有所述待测晶圆正面的芯粒和凹槽结构，若是，则判断所述检测面为晶圆正面；若否，则判断所述检测面为晶圆背面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励