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  • 本发明涉及照明光学单元(11),其具有两个分面反射镜(6、7),用于反射地引导来自EUV光源(2)的照明光(2)。第二分面反射镜(7)具有形成第二分面(25)的第二单独反射镜(34),其经由照明光(3)的部分光束(30)将形成第一分面的第一...
  • 投射光刻的照明光学单元(11)具有传输分面反射镜(6)、照明规范分面反射镜(7)和监测装置(28)。后者具有至少一个空间分辨监测传感器(29)和卫星分面(30),卫星分面(30)属于传输分面反射镜(6)且在各个情况下分配给恰好一个监测传输分...
  • 一种翻新衬底支撑件的方法,该衬底支撑件包括:第一表面,被配置为支撑衬底;以及第二表面,与该第一表面相对。该方法包括:将材料沉积在第二表面上以形成涂层,该涂层增加衬底支撑件的厚度;以及从该第一表面去除材料。
  • 公开了在不使用催化剂的情况下制备交联薄膜的新型方法。使用鏻催化剂,在温和条件下将丙炔酸与缩水甘油基或环氧基接枝,得到丙炔酸酯。所述丙炔酸酯可在低至120°C的温度下热交联(使得所述聚合物膜不溶),而一些实施方式可在暴露于DUV光时进行光诱导...
  • 本发明的目的在于提供一种耐热性优异、显影时的膜减少量少、感度高的感光性树脂组合物。本发明为一种感光性树脂组合物,其含有:(a)选自由聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚苯并噁唑、及这些的前体所组成的群组中的一种以上的树脂(以下称为“(a)树脂”)、(...
  • 一种光致抗蚀剂组合物,其包含以基于光致抗蚀剂组合物的总固体大于50 wt%的组合量存在的一种或多种非溶剂碱不溶性基础材料;非聚合离子光酸产生剂化合物,其包含阴离子和碘鎓或锍阳离子,其中该阴离子由如本文所定义的式 (1) 表示,其中b是1至4...
  • 本发明涉及一种感光性组合物,其含有不含PFAS的聚降冰片烯即PNB的共聚物和三元共聚物,并结合特定添加剂,所述感光性组合物可用于形成微电子及/或光电子器件及其组件,更具体而言,涉及一种组合物,其含有不含PFAS的PNB、特定多官能交联剂及两...
  • 一种用于投射曝光设备的光学系统,具有照明光学单元,用于将照明及成像光(3)从光源引导至可配置待成像物体于其中的物场,以及成像光学单元,用于将物场成像至可配置待曝光基板于其中的像场。成像光学单元具有出射光瞳(36),其具有位于外光瞳边缘(37...
  • 公开了对量测工具的测量照射进行光谱配置的方法,方法包括:使用所述投射光学系统来投射测量辐射,以获得经投射的测量辐射;在检测器处测量经投射的所述测量辐射的信号幅度度量;根据信号幅度度量来确定经投射的测量辐射的光谱形状;以及在投射光学系统之前对...
  • 本发明的目的在于提供一种对氢自由基的耐性高且EUV反射率低、OD值高的EUV光掩模坯和EUV光掩模。根据本实施方式的反射型掩模坯(10)至少具备基板(1)、多层反射膜(2)、覆盖层(3)以及低反射部(5),低反射部(5)由第一吸收膜(51)...
  • 拍摄装置具备:拍摄部,具有拍摄面,所述拍摄面拍摄由变倍光学系统形成的像;生成部,基于从所述拍摄面的至少一部分区域输出的信号而生成图像信息;及控制部,与所述变倍光学系统的变倍并行地进行使所述一部分区域的大小变更的电子变倍控制。
  • 本文公开了针对可拆卸滤光器保持器的装置和系统方面。一方面包括相机镜头主体、定位在相机镜头主体内的相机透镜、在相机透镜之间沿着相机镜头主体的槽、定位在槽中的引导机构,以及沿着引导机构定位在槽中的可拆卸滤光器保持器。这个方面的可拆卸滤光器保持器...
  • 公开了一种宽带光源组件、一种量测设备以及一种生成宽带辐射的方法。该宽带光源包括被布置为发射辐射脉冲的飞秒泵浦激光器,其中辐射脉冲具有大于50 nJ的每泵浦脉冲能量;并且包括全正色散光纤,被布置为接收辐射脉冲。
  • 提供了一种电致变色器件。该器件包括第一透明基底、第二透明基底、设置在第一透明基底的内表面上的、具有第一电阻梯度的第一导电层,以及设置在第二透明基底的内表面上的、具有第二电阻梯度的第二导电层。该器件还包括与第一导电层接触的第一汇流条、与第二导...
  • 一种显示设备包括:显示面板;多个光源基板;多个光源,所述多个光源安装在所述多个光源基板上,并且所述多个光源被配置成朝向所述显示面板发射光;驱动板,所述驱动板被配置成控制对所述多个光源中的每一个光源的驱动;多个连接器,所述多个连接器通过电线电...
  • 提供辐射源、量测工具、光刻装置以及在气体介质中生成声学模式的方法。该辐射光谱配置系统包括中空光波导和一个或多个换能器。中空光波导包含气体介质。一个或多个换能器被配置为在气体介质中生成声学模式。
  • 超表面可包括衬底层和二维金属光学柱阵列,该阵列以行和列的形式排列。具有可调谐折射率的可调谐介电材料位于相邻行的光学谐振器之间。二维有源矩阵驱动器包括集成的驱动器布线层、电容器层和/或晶体管层。驱动器布线层通过每个行金属柱的行导体和每个列金属...
  • 提供了一种光栅,该光栅用于将通过全内反射在光波导内传播的光线光学耦合到在光波导外部并朝向或远离光波导传播的光线。光栅包括光学透明粘合剂层和外涂层,该光学透明粘合剂层包括多个基本上平行的线性粘合剂棱镜,该外涂层设置在多个基本上平行的线性粘合剂...
  • 在本发明的图像照射装置(10)中,反射镜(40)具有:有效反射区域(42),其对来自图像生成单元(20)的出射光进行反射控制;以及外周缘区域(44),其遍及整周将有效反射区域(42)包围。外周缘区域(44)与有效反射区域(42)相比形成为厚...
  • 一种车辆显示装置(10),包括:壳体(11),其包括设置有开口部分(15)的壁部分,图像的显示光(L)朝向外部通过开口部分(15);以及图像显示装置(20),其容纳在壳体(11)中并输出图像的显示光(L)。此外,车辆显示装置(10)包括反射...
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