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最新专利技术
  • 石墨舟及其制备方法、电池片预成品的沉积方法
    石墨舟及其制备方法、电池片预成品的沉积方法_四川东磁新能源科技有限公司_202511955480.1
    本公开涉及一种石墨舟及其制备方法、电池片预成品的沉积方法。该石墨舟，包括饱和石墨舟和依次层叠于饱和石墨舟表面上的第一氮化硅薄膜、氮氧化硅薄膜以及氧化硅薄膜，其中，第一氮化硅薄膜的孔隙率为27%‑33%，第一氮化硅薄膜与氧化硅薄膜的总厚度与氮...
    2026-05-08
  • 一种基于阶段性键合调控与双路径自适应的低硅掺杂氢化非晶碳复合涂层及其制备与应用
    一种基于阶段性键合调控与双路径自适应的低硅掺杂氢化非晶碳复合涂层及其制备与应用_华晟昇纳米科技(成都)有限公司_202610147988.7
    本发明涉及一种基于阶段性键合调控与双路径自适应的低硅掺杂氢化非晶碳复合涂层及其制备与应用，属于表面工程技术领域。所述涂层通过低浓度硅掺杂实现微观结构的精准调控，其中硅原子遵循“先打断sp3网络，后促进sp2有序化”的阶段性键合演化规律，使涂...
    2026-05-08
  • 一种纳米片状金刚石膜的制备方法
    一种纳米片状金刚石膜的制备方法_重庆交通大学_202511963412.X
    本发明公开了一种纳米片状金刚石膜的制备方法，涉及金刚石制备技术领域。本发明所提出的方法，相较于原本的1050℃的温度，此方法掺杂得到的纳米片状金刚石具有更低温度要求(约920℃)，对于设备的耐温要求也更低，拓宽了衬底材料的选取范围；本发明提...
    2026-05-08
  • 一种微波等离子体化学气相沉积腔体
    一种微波等离子体化学气相沉积腔体_东北师范大学_202610148180.0
    本发明涉及化学气相沉积设备技术领域，具体为一种微波等离子体化学气相沉积腔体，包括沉积室和位于沉积室顶部密封设置的封闭顶盖，所述沉积室内部的两侧均设有导向杆，且两个导向杆之间活动设有三组可调式电磁线圈组件，三组可调式电磁线圈组件同轴心设置，且...
    2026-05-08
  • 一种金刚石MPCVD谐振腔体
    一种金刚石MPCVD谐振腔体_郑州大学_202610152868.6
    本发明涉及人造金刚石技术领域，具体涉及一种金刚石MPCVD谐振腔体，包括上壳体、下壳体、石英腔体。石英腔体柱形部下方设有压缘部，上壳体配合下壳体对压缘部夹持密封；柱形部上方与水冷天线相配合的连接口处设有夹持部，水冷天线包括压板以及锥形天线盘...
    2026-05-08
  • 一种高耐磨金刚石涂层切削工具及其制备方法
    一种高耐磨金刚石涂层切削工具及其制备方法_成都惠锋智造科技有限公司_202610435006.4
    本发明涉及气相沉积涂层技术领域，具体地说，涉及一种高耐磨金刚石涂层切削工具及其制备方法。该切削工具从内至外依次包括：基体、过渡层、金刚石复合涂层和抗氧化保护层，各层结构协同作用，实现高结合强度、高耐磨性和高高温稳定性的技术效果。本发明中，通...
    2026-05-08
  • 用于沉积含碳材料的方法和设备
    用于沉积含碳材料的方法和设备_ASMIP私人控股有限公司_202511546128.2
    公开了用含碳材料填充衬底上的间隙的方法。示例性方法包括将包括间隙的衬底提供到反应室中并执行多个沉积循环。每个沉积循环包括以气相将第一前体提供到反应室中并将反应性物质提供到反应室中，其中第一前体包括碳。
    2026-05-08
  • 沉积时间自动控制方法、装置、电子设备及存储介质
    沉积时间自动控制方法、装置、电子设备及存储介质_湖北星辰技术有限公司_202610076864.4
    本申请提供了一种沉积时间自动控制方法、装置、电子设备及存储介质；方法包括：向半导体工艺设备下发第一工艺批次的第一候选沉积参数序列，以供半导体工艺设备匹配调用；接收半导体工艺设备反馈的目标晶圆的实际执行参数，并获取目标晶圆的量测结果，并根据实...
    2026-05-08
  • 基于FCVD设备的控制方法、系统及电子设备
    基于FCVD设备的控制方法、系统及电子设备_苏州欣威晟电子科技有限公司_202610305719.9
    本申请提供了一种基于FCVD设备的控制方法、系统及电子设备。该控制方法包括：响应于FCVD设备处于液膜沉积阶段，获得晶圆表面的第一反射图像；基于第一反射图像确定晶圆表面的液膜厚度场；液膜厚度场表征液膜在晶圆表面的空间厚度分布；基于液膜厚度场...
    2026-05-08
  • 一种炉管式薄膜沉积设备石英组件的装卸装置及方法
    一种炉管式薄膜沉积设备石英组件的装卸装置及方法_杭州星原驰半导体有限公司_202610385965.X
    本发明公开一种炉管式薄膜沉积设备石英组件的装卸装置及方法，属于物料搬运与输送设备技术领域，包括治具移动平台；底座校准模块设置于治具移动平台上，用于提供水平基准与对中导向；石英管装卸移动模块可拆卸地安装于底座校准模块上，用于承载并运送石英组件...
    2026-05-08
  • 一种基于分步沉积的低应力PECVD薄膜制备方法
    一种基于分步沉积的低应力PECVD薄膜制备方法_嘉际环控(西安)科技有限公司_202610395869.3
    本申请公开了一种基于分步沉积的低应力PECVD薄膜制备方法。其包括：对放置在沉积腔内的待沉积基底以预定温度进行预加热；以第一沉积压力、第一反应气体流量比、第一射频功率和第一沉积速率，在待沉积基底上沉积第一预定厚度的薄膜；以第二沉积压力、第二...
    2026-05-08
  • 一种PECVD设备的双维度压差闭环调控方法和系统
    一种PECVD设备的双维度压差闭环调控方法和系统_嘉际环控(西安)科技有限公司_202610395925.3
    本申请公开了一种PECVD设备的双维度压差闭环调控方法和系统，属于半导体晶圆制程设备领域。其包括：在PECVD设备的工艺腔室与传输腔室之间进行晶圆传输之前，获取工艺腔室的第一腔室压力和传输腔室的第二腔室压力；判断第一腔室压力和第二腔室压力之...
    2026-05-08
  • 一种铜基催化电极的制备及等离子体修饰方法
    一种铜基催化电极的制备及等离子体修饰方法_青骐骥中能(江苏苏州)氢能源科技有限公司_202610015451.5
    本发明公开了一种铜基催化电极的制备及等离子体修饰方法，以泡沫铜为基底，经电活化、水热等多步序贯制备后，通过等离子体法修饰电极表面构建铜基催化剂，不仅有效解决了负载型铜基材料因氧化层脱落、晶粒长大引发的稳定性不足问题，还显著提升了材料的催化活...
    2026-05-08
  • 一种稀土Er低温改性的非晶氧化铝阻氢/氘/氚涂层及其制备方法
    一种稀土Er低温改性的非晶氧化铝阻氢/氘/氚涂层及其制备方法_华中科技大学_202610156974.1
    本发明公开了一种稀土Er低温改性的非晶氧化铝阻氢/氘/氚涂层及其制备方法，该涂层包括金属基底及覆盖于其上的Er低温改性非晶氧化铝涂层。制备方法包括：对金属基底进行前处理；通过溶胶‑凝胶工艺制备含铝源和铒盐的Er改性非晶氧化铝溶胶；采用涂覆工...
    2026-05-08
  • 半导体结构的料盒、化学镀设备及其使用方法
    半导体结构的料盒、化学镀设备及其使用方法_华润润安科技(重庆)有限公司_202411548302.2
    本申请提供一种半导体结构的料盒、化学镀设备及其使用方法。所述半导体结构的料盒包括料盒本体和驱动部。所述料盒本体具有用于放置半导体结构的容纳腔；所述料盒本体包括位于所述容纳腔相对两侧的第一侧壁和第二侧壁；所述第一侧壁设有第一限位槽，所述第二侧...
    2026-05-08
  • 金属氧化物覆膜的形成方法
    金属氧化物覆膜的形成方法_上村工业株式会社_202511547169.3
    本申请涉及一种金属氧化物覆膜的形成方法，延长用于形成金属氧化物的覆膜的镀覆液的寿命，能够有效地使用镀覆液。金属氧化物覆膜的形成方法具备：形成覆膜工序，利用镀覆液在镀覆对象的表面形成金属氧化物的覆膜，所述镀覆液包含形成覆膜的金属的化合物和作为...
    2026-05-08
  • 一种旋耕刀具用复合涂层及其制备方法
    一种旋耕刀具用复合涂层及其制备方法_南京农业大学_202610185137.1
    本发明涉及一种旋耕刀具用复合涂层及其制备方法，所述旋耕刀具用复合涂层包括镍基体层和均匀分布于所述镍基体层的固体颗粒；所述固体颗粒包括聚四氟乙烯颗粒和氧化铝颗粒；本发明兼顾了降摩‑硬度和增疏水三项指标的平衡，摩擦系数低至0.462以下，显微维...
    2026-05-08
  • 一种柔性抗腐蚀抗结冰结构及其制备方法
    一种柔性抗腐蚀抗结冰结构及其制备方法_天津商业大学_202511974296.1
    本发明涉及一种柔性抗腐蚀抗结冰结构及其制备方法，结构的基材采用柔性抗腐蚀多孔隙材料，在基材的表面加工制备有仿星星藓状结构，仿星星藓状结构为大小孔隙交错且具有微纳复合尖端的结构，使柔性抗腐蚀抗结冰结构表面呈疏水状态；在仿星星藓状结构的尖端生长...
    2026-05-08
  • 一种用于AZ31B镁合金防腐蚀的无铬钝化剂及其生产工艺
    一种用于AZ31B镁合金防腐蚀的无铬钝化剂及其生产工艺_合肥普庆新材料科技有限公司_202610131751.X
    本发明涉及钝化剂技术领域，公开了一种用于AZ31B镁合金防腐蚀的无铬钝化剂及其生产工艺，该种无铬钝化剂，包括以下原料：聚氨酯丙烯酸树脂、甲基丙烯酸缩水甘油酯、防腐蚀氯醋树脂、自修复复合物、1‑羟基环己基苯基甲酮、丙二醇甲醚醋酸酯、流平剂、消...
    2026-05-08
  • 水性前处理药剂及其制备方法和应用、热镀锌彩涂板的制备方法
    水性前处理药剂及其制备方法和应用、热镀锌彩涂板的制备方法_马鞍山钢铁有限公司_202610003577.0
    本发明涉及金属铁基表面涂覆领域，公开了水性前处理药剂及其制备方法和应用、热镀锌彩涂板的制备方法，制备所述水性前处理药剂的原料中含有水溶性树脂聚合物、金属盐类、氧化剂、封孔剂、助剂、有机溶剂和水；其中，所述水溶性树脂聚合物含有水性丙烯酸树脂和...
    2026-05-08
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