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  • 一种可抑制高丰度离子对低质量端干扰的四极杆质谱仪,包括离子源、四极杆质量分析器、第一电源装置、第二电源装置及第三电源装置;其中,离子源包括电离室和设置于电离室的电子进口处的灯丝组件;四极杆质量分析器设置于离子源的下游;第一电源装置与灯丝组件...
  • 本发明公开了一种升降调节式离子束刻蚀均匀性修正结构,涉及半导体技术领域,包括反应腔体,反应腔体的背面处固定安装有第一电机,第一电机的输出端贯穿延伸至反应腔体的内部中,且第一电机的输出端固定连接有载台,载台的内部安装有旋转座机构和升降夹紧机构...
  • 本申请涉及一种等离子体射频功率源及射频系统,包括:射频功放模块;匹配器、阻抗压缩单元及负载腔体,阻抗压缩单元包括至少一个阻抗压缩网络,阻抗压缩网络具有串联支路或并联支路,或者两者兼具。射频功放模块、匹配器、阻抗压缩单元依次串联,阻抗压缩单元...
  • 本技术的各种实施例可提供具有凹槽和与凹槽流体连通的入口孔的分隔板,设置在凹槽内的流量分配环,其中流量分配环具有多个孔,以及设置在分隔板和流量分配环上方的顶环。
  • 本申请公开了一种腔室复机方法及半导体工艺设备。其中,该方法包括:在启动复机流程后,获取预设的稳态模型中各服务的当前参数值,所述稳态模型中包括各服务的理想参数值;判断是否存在所述当前参数值和所述理想参数值不匹配的服务;若存在所述不匹配的服务,...
  • 本发明公开了一种低能电子发射装置及微区化学反应加工方法,涉及微区化学技术领域。包括:供气管路:用于通入反应气体;馈通气路:螺纹连接在供气管路内,包括中空管,所述中空管顶面和底面均设置有微孔,且顶面和底面微孔连接线朝向底面中心设置,实现微气流...
  • 本发明提供一种X射线发生装置,X射线发生装置包括阴极系统、磁偏转系统、磁聚焦系统、阳极系统和抽真空系统,阴极系统包括阴极腔体、阴极高压组件和高压连接组件,阴极高压组件包括六硼化镧灯丝组件;磁偏转系统包括磁偏转单元;磁聚焦系统包括四极聚焦单元...
  • 提供了一种接触器装置,该接触器装置包括配置成选择性地断开/闭合电路的可移动触点。可移动触点联接到轴,并且轴被闩锁保持在闭合位置中。可移动构件被偏压成远离闩锁。在一事件期间,将可移动构件偏压成远离闩锁的偏压力被克服。可移动构件使闩锁与轴脱离,...
  • 本发明涉及电路保护领域,具体指一种电路保护装置用驱动机构和激励熔断结构,包括激励部和运动部,运动部包括第一连杆、第二连杆、第三连杆、动作执行件;第一连杆和第二连杆铰接,第三连杆与动作执行件联动,初始位置时,第二连杆与第三连杆抵接,使与动作执...
  • 本发明公开了一种自诊断高压熔断器及其运行状态在线监测方法,属于高压电力设备技术领域,该方法包括以下步骤:S1、采集熔断体本体的运行参数与环境参数,基于校准因子对采集数据进行实时修正;S2、对校准后的数据进行滤波去噪,提取核心特征参数;S3、...
  • 本发明涉及汽车配件测试领域,公开了一种汽车智能保险丝盒及其测试设备,包括盒体组件,所述盒体组件包括上盖体与下盖体,上盖体与下盖体之间通过螺钉可拆卸连接,盒体组件的内侧安装有PCBA板,下盖体的下端安装有散热片;卡扣连接组件,所述卡扣连接组件...
  • 本发明公开了一种带有自动通断功能的跌落熔断器熔管,包括熔管本体;设置于所述熔管本体内的串联自动通断支路,所述串联自动通断支路被配置为具有如下电气特性:在交流运行工况下呈现导通状态,在直流试送工况下呈现断路状态;设置于所述串联自动通断支路与所...
  • 一种灭弧室消游离结构,所述灭弧室的排气口处设置有气体降速通道。在灭弧室的排气口一侧设置渐扩孔板用以增加热流体与丝网的有效换热面积;同时在保护罩内设置分隔板和丝网,让从灭弧室流出的热流体经过分隔板分流,避免流体仅从顶盖流出,局部流速较大,飞弧...
  • 本发明提供的一种灭弧室结构,所述灭弧室从位于动触头和静触头分离位置到灭弧栅片组下侧端部边缘位置具有气流通道区域,所述气流通道区域中设置有导流件,所述导流件把气流通道区域分隔为至少2个分通道。在动静触头分断电弧进入灭弧室的电弧通道上设置导流件...
  • 一种触头系统和断路器,包括直线移动设置的按钮件、手柄机构、动触头机构和静触头,所述手柄机构包括转动设置的手柄件,所述按钮件和手柄件之间设有第一连杆,按钮件通过手柄件带动触头机构的动触头与静触头接触和分开,所述动触头机构具有弹性机构,所述手柄...
  • 一种触头系统和断路器,包括手柄机构、动触头机构、静触头和储能机构,所述动触头机构包括转动设置在外壳组件中的触头支持,以及转动设置在触头支持上的动触头,所述动触头与触头支持之间通过储能弹簧连接,所述动触头设有锁定轴,所述触头支持设有解锁轴,所...
  • 本申请涉及断路器的技术领域,具体涉及一种双连杆重合闸机构及断路器,其包括驱动组件、转动件、第一连杆、第二连杆、固定板与滑块,所述驱动组件用于驱动转动件转动,所述第一连杆包括连接端与传动端,所述连接端呈偏心转动连接在转动件上,所述传动端与第二...
  • 本发明涉及低压电器领域,具体涉及一种操作机构以及一种包括该操作机构的开关电器;操作机构中,锁扣件一端转动设置且另一端设有锁扣件配合部,配合件设置在牵引杆上且围绕牵引杆的转动轴线与牵引杆同步转动;操作机构在正常状态下,跳扣件与锁扣件保持搭扣配...
  • 本发明提供一种断路器,至少包含绝缘外壳及设置在绝缘外壳内的元件,绝缘外壳至少由中座、底座、盖组合而成,中座与底座组成L极模块的外壳,中座与盖组成N极模块的外壳,L极模块和N极模块的左侧设置有剩余电流控制器,灭弧室设置在绝缘外壳的下部,灭弧室...
  • 本申请提供一种继电器的静触组件、接触组件和继电器。其中静触组件包括导电件和连接件。导电件包括第一表面和第二表面,第一表面上设置有静触头,静触头位于导电件的第一方向的端部,其中第一方向为静触组件的长度方向。连接件连接于导电件的第二表面,并沿导...
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