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基座和气相沉积装置
本申请提供了一种基座和气相沉积装置。基座包括承载面、收容腔体、驱动气体输送管路、导气流道、集气槽和排气管道,收容腔体设于承载面,顶面开口以放置基板承载件或基板;导气流道设有至少一个且设置于收容腔体的腔体内底面,导气流道包括与驱动气体输送管路...
一种热镀锌镀锌装置
本实用新型提供一种热镀锌镀锌装置,涉及镀锌装置技术领域,包括箱体,还包括设置于所述箱体端部外侧的加工机构;所述加工机构包括连接板,所述连接板固定连接于所述箱体的顶端内侧,所述箱体的下表面固定连接有支撑腿,所述连接板的一侧安装有第一电机,所述...
一种细长型活塞杆热喷涂用弹性尾座
本实用新型公开了一种细长型活塞杆热喷涂用弹性尾座,涉及机床尾座技术领域,包括尾座主体和支撑座,所述尾座主体的底部固定有滑动于车床轨道上的支撑座,所述尾座主体内滑动套设有装夹筒,所述装夹筒的前端装配有抵触轴件的顶尖,所述装夹筒的另一端连接有延...
一种对钢铁材料表面进行离子渗氮处理的装置
本实用新型涉及离子渗氮处理技术领域,尤其涉及一种对钢铁材料表面进行离子渗氮处理的装置,包括有底座、壳体、真空室、下锁紧件、密封盖、上锁紧件、第一提升挂件、绝缘固定架和载物台,底座上固定连接有壳体,壳体内设置有真空室,壳体上固定连接有多个下锁...
一种用于半导体切割用金刚石划片刀的涂层涂敷设备及方法
本发明涉及划片刀表面处理技术领域,特别是涉及一种用于半导体切割用金刚石划片刀的涂层涂敷设备及方法,用于解决传统涂敷技术效果不佳的问题;该设备包括防护机构和传动机构,放置杆的底端固定连接有安装杆,齿轮的中部开设有与安装杆间隙配合的插孔,底座上...
一种真空镀膜设备
本发明属于真空镀膜技术领域,公开了一种真空镀膜设备。真空镀膜设备包括容置组件、第二装载机构、第三装载机构、第一搬送机构和翻转机构,容置组件包括第一镀膜室和第二镀膜室,第一镀膜室和第二镀膜室选择性连通;第二装载机构设于第一镀膜室内;第三装载机...
一种真空镀膜机的转架啮合防撞结构
本实用新型提供一种真空镀膜机的转架啮合防撞结构,包括真空腔,可滑动至真空腔内的转架,同心安装于转架上的外齿大盘,真空腔内设有传动齿轮,驱动传动齿轮转动的电机,连接电机与传动齿轮的主轴,主轴上转动安装有一绕主轴周向转动的转臂,而转臂上转动安装...
晶圆沉积装置和晶圆沉积设备
本实用新型公开了一种晶圆沉积装置和晶圆沉积设备,涉及晶圆沉积技术领域,该晶圆沉积装置包括沉积旋转平台、晶圆沉积平台、移动支架和机械臂,多个晶圆沉积平台设置在沉积旋转平台周缘,且多个晶圆沉积平台用于放入不同的工艺腔室;移动支架可拆卸地设置在其...
一种光学玻璃镀膜夹具
本实用新型涉及玻璃镀膜技术领域,尤其是一种光学玻璃镀膜夹具,安装于机体中,包括翻面机构和一组夹持机构,一组所述夹持机构相互配合用于对玻璃进行侧边夹紧,一组夹持机构通过所述翻面机构对玻璃进行翻面;其中,所述夹持机构包括支架和两个夹具,两个所述...
蒸发舟装卸装置
本发明涉及蒸发舟技术领域,公开了一种蒸发舟装卸装置,其包括固定底座、活动底座、弹性件和推动机构。蒸发舟安装过程中,先通过推动机构驱动活动底座远离固定底座,再将蒸发舟放置到活动底座与固定底座之间,活动底座复位后即可夹紧蒸发舟,可以有效防止蒸发...
用于火焰法制备高球度粉体的燃烧装置
本实用新型公开了一种用于火焰法制备高球度粉体的燃烧装置,其包括由内至外同轴设置的中心燃气喷管、中间氧气管道以及外层物料输送管道,中心燃气喷管的出气端与中间氧气管道的出气端的端面齐平,外层物料输送管道的出料端延伸至覆盖中心燃气管道和中间氧气管...
防止镍基涂层开裂的激光熔覆方法及镍基涂层结构
本发明提供了一种防止镍基涂层开裂的激光熔覆方法及镍基涂层结构。所述方法包括:提供镍基复合粉体,包括由镍基金属构成的核心以及由过渡金属氧化物构成的壳层;采用激光熔覆的方法在基材表面形成涂层,过渡金属氧化物与碳元素反应形成过渡金属单质和碳氧化物...
一种SiCf/SiC复合材料包壳预制体CVI沉积装置
一种SiCf /SiC复合材料包壳预制体CVI沉积装置,位于沉积炉腔体中,包括边支撑架、中支撑架、固定杆、单边固定架;顶部为边支撑架、中支撑架,边支撑架位于外侧,而中支撑架位于内侧,边支撑架、中支撑架的左右两端分别开有通孔A、通孔B,通过通...
一种用于薄膜沉积设备中炉管内部温度测量的装置
本发明涉及测温装置技术领域,具体为一种用于薄膜沉积设备中炉管内部温度测量的装置,包括移动平台,还包括电控箱、线性驱动装置和机架,其中,电控箱设置于移动平台上;线性驱动装置设置于移动平台上;机架罩设在线性驱动装置的外侧;线性驱动装置包括基板,...
一种金属基多组分异质结构梯度材料的光学成形方法
本发明公开了一种金属基多组分异质结构梯度材料的光学成形方法,属于金属增材技术领域。所述金属基多组分异质结构梯度材料沿厚度方向依次设置富金属层、过渡层和富陶瓷层,通过调控铝合金粉与碳化硅含量形成连续梯度结构。各层均引入光固化树脂、交联改性剂和...
一种炉鼻子内壁反角度清理工具
本实用新型公开了一种炉鼻子内壁反角度清理工具,包括长管,所述长管的一端为连接部,连接部通过软管与外置的高压气泵连接,所述长管的另一端为清理部,清理部上设置多个喷嘴,且喷嘴环绕清理部并向下倾斜设置。本实用新型通过长管上的喷嘴采用向下倾斜的反角...
一种用于热镀锌的捞渣装置
本实用新型公开了镀锌捞渣技术领域的一种用于热镀锌的捞渣装置,包括安装板和连接板,所述连接板位于所述安装板的底部,所述安装板的底部中间处开设有凹槽,所述凹槽的内腔左右侧壁之间转动连接有双向丝杆,所述双向丝杆的外侧壁左侧固定连接有第一锥齿轮,所...
一种真空镀膜冷却装置
本实用新型公开了一种真空镀膜冷却装置,涉及真空镀膜技术领域,包括真空镀膜机本体,所述真空镀膜机本体底部设置有底座,所述底座上设置有网板,所述网板一侧设置有清理箱,所述清理箱内设置有第一电机,所述第一电机的输出轴上连接有驱动杆,所述驱动杆的另...
一种磁靶距调整结构及镀膜设备
本实用新型提供了一种磁靶距调整结构及镀膜设备,属于半导体生产设备技术领域,包括第一安装部、Z轴驱动组件、第二安装部、Y轴驱动组件、磁控管、X轴驱动组件,在所述Z轴驱动组件与所述第一安装部之间、所述Y轴驱动组件与所述第二安装部之间、所述X轴驱...
一种激光熔覆工作头保护装置
本实用新型公开了一种激光熔覆工作头保护装置,包括外箱体,所述外箱体内腔的四周均固定连接有泡棉缓冲垫,所述外箱体内腔底部的两端均固定连接有橡胶缓冲条。本实用新型通过泡棉缓冲座和容纳腔的设置,能够在运输的过程中对熔覆头本体进行容纳与缓冲保护,且...
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