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一种反应腔室及晶圆处理设备
本发明涉及晶圆处理设备技术领域,尤其涉及一种反应腔室及晶圆处理设备,包括石英管、陶瓷顶板、感应线圈、法拉第屏蔽笼和射频馈入电极;石英管设于处理室的顶部;陶瓷顶板设于石英管的开口部以封堵石英管;法拉第屏蔽笼环设于石英管和感应线圈之间,法拉第屏...
一种高氢制程的反应腔室及等离子体处理设备
本发明涉及晶圆处理设备技术领域,尤其涉及一种高氢制程的反应腔室及等离子体处理设备,包括石英管、感应线圈、法拉第屏蔽笼和点火件;石英管设于处理室的顶部;法拉第屏蔽笼环设于石英管和感应线圈之间,法拉第屏蔽笼上开设有若干个贯穿其侧壁且沿轴向延伸的...
用于提升EBAPS阴极灵敏度的结构及其EBAPS器件
本申请公开了一种用于提升EBAPS阴极灵敏度的结构及其EBAPS器件,包括:阴极透镜、倒金字塔微纳阵列结构、填充衍射材料层、复合金属导电膜、复合金属封接膜、光电阴极;阴极透镜一侧面上设置倒金字塔微纳阵列结构;倒金字塔微纳阵列结构上设置填充衍...
一种高通量质谱分析方法及非接触电喷雾离子化装置
本发明公开一种高通量质谱分析方法及非接触电喷雾离子化装置,方法包括获取多份待测样品溶液,将样品溶液分别放入若干样品管内;调试离子化组件与质谱仪接口的相对位置,并将离子化组件和质谱仪接通电离电压;使用取样组件提取样品管内的待测样品溶液,将取样...
一种质谱自动调谐方法、系统及计算机可读存储介质
本发明涉及质谱自动调谐方法、系统及计算机可读存储介质,方法包括:参数初始化;调节推斥极电压,以使总离子流强度达到最大值,得到目标推斥极电压;调节聚焦透镜电压和入口透镜电压,使调谐液的主特征峰与基峰的丰度比调整至目标区间内,得到目标聚焦透镜电...
一种用于C-14同位素电磁分离的高流强离子源装置及离子产生与引出方法
本发明公开了一种用于C‑14同位素电磁分离的高流强离子源装置及离子产生与引出方法。所述装置包括离子源本体以及高温超导线圈、真空、注气、高压电源、离子过滤和束流分析等系统。离子源本体沿轴线依次设有电子枪、漂移管组件、电子收集极和离子引出极;高...
直接电离离子化装置及方法、质谱系统和应用
本发明属于质谱技术,具体提供了直接电离离子化装置及方法、质谱系统和应用,所述离子化装置包括直接电离单元,液体管道的一端插入所述直接电离单元内,并与所述直接电离单元密封;所述第一通孔设置在所述液体管道伸入直接电离单元内的部分上,所述第一通孔在...
飞行时间质量分析装置及提升飞行时间质量分析装置性能的方法
公开了飞行时间质量分析装置,其包括电离加速区,产生离子、根据离子的初始能量和初始位置筛选离子并使离子加速向无场区运动;无场区,用于向离子提供足够距离的自由运动空间;反射区,位于无场区末端,用于反射离子至信号检测区;以及信号检测区,用于检测离...
低压高强紫外线灯及紫外装置
本发明涉及紫外装置领域,具体公开了一种低压高强紫外线灯及紫外装置。其中,低压高强紫外线灯包括灯管,所述灯管至少一端设有用于容纳汞合金的容纳腔,所述灯管内设有灯丝;所述灯管的内径≥23mm,电流密度≥0.65A/cm2;所述汞合金为含有Bi、...
无极触发式零度射出金属方壳激光维持宽谱光源
无极触发式零度射出金属方壳激光维持宽谱光源,涉及光源设备技术领域,包括金属灯壳、无极触发单元、零度射出单元、光束调整单元和散热控温单元;所述无极触发单元包括触发集成灯壳,所述触发集成灯壳的纵向内壁上固定有无极触发灯室,所述无极触发灯室内开设...
一种紫外光产生装置及半导体加工设备
本发明公开了一种紫外光产生装置及半导体加工设备。紫外光产生装置包括:至少一个固态微波源,其中,固态微波源包括功率放大合成子模块、检测子模块、驱动控制子模块和同轴电缆;检测子模块用于检测其所在的固态微波源的反射功率和入射功率;驱动控制子模块用...
多层电极膜的组合物和方法
本申请涉及多层电极膜的组合物和方法。本申请公开了一种包括多个活性层的储能器件电极膜,以及形成这种多个活性层储能器件电极膜的方法。每个活性层可以是包括粘合剂和活性材料的自支撑活性层。该粘合剂和/或活性材料可以与任何其他活性层相同或不同。该活性...
用于动力电池的正极活性物质及其生产工艺
本发明公开了用于动力电池的正极活性物质及其生产工艺,该用于动力电池的正极活性物质包括要物质和辅助添加剂,所述主要物质包括:铅粉80%‑85%;硫酸4%‑9%;纯水7.5%‑11.5%;所述辅助添加剂包括:石墨0.1%‑0.20%;短纤维0....
一种正极材料及其制备方法和应用
本发明涉及电池材料技术领域,公开了一种正极材料及其制备方法和应用,所述制备方法包括:将锂源、正极前驱体材料和复合纳米片混合,再经烧结,得到所述的正极材料;所述复合纳米片包括碳材料和负载于所述碳材料上的双金属硫化物,所述双金属硫化物中的金属元...
一种含有BIMSM粘结剂的金属锂粉末复合电极的制备方法
本发明提供一种含有BIMSM粘结剂的金属锂粉末复合电极的制备方法,该方法包括以下步骤:S1、将溴化异丁烯‑对甲基苯乙烯共聚物溶解于第一有机溶剂中,得到预包覆溶液;S2、在惰性气氛下,将金属锂粉末加入所述预包覆溶液中进行分散混合,随后去除溶剂...
一种钠二次电池金属负极材料制备方法及其钠二次电池
本发明公开了一种钠二次电池金属负极材料的制备方法及其钠二次电池,包括步骤:S1:将纯相连续碳纳米管薄膜进行杂原子表面改性处理;S2:配制含钠熔融液;S3:将步骤S1中经过表面改性处理后的碳纳米管薄膜浸渍于含钠熔融液中;S4:将步骤S3经过浸...
一种电极材料的包覆方法
本发明公开了一种电极材料的包覆方法,包括以下步骤:(1)混合烯烃取代的咪唑、卤代烃,进行加成反应,形成季铵盐型离子液体单体,所述卤代烃为3‑二(溴甲基)苯、1, 3‑二(溴乙基)苯、1, 2‑二氯乙烷、溴化苄中的一种或几种的混合;(2)热引...
集流体模组及其制备方法、电极极片及电池
本申请涉及一种集流体模组及其制备方法、电极极片及电池。所述制备方法包括:提供集流体;对所述集流体表面进行等离子体活化处理;以及在等离子体活化处理后的所述集流体表面沉积粘结增强层,以得到集流体模组;其中,所述粘结增强层的厚度小于1μm。由本申...
一种复合铝集流体的制备方法
本发明公开了一种复合铝集流体的制备方法,包括以下步骤:S1:选择高分子薄膜材料,作为复合铝集流体的基膜层;S2:采用磁控溅射法在基膜层的两侧形成铝种子层;S3:通过离子液体电镀法对铝种子层电镀加厚,形成基膜层两侧的含铝层;所述的步骤S3中,...
一种固态电池集流体穿孔箔的蚀刻设备及蚀刻方法
本申请涉及一种固态电池集流体穿孔箔的蚀刻设备及蚀刻方法,其设备包括收放卷传输组件;多孔转鼓,为中空圆柱体结构,其柱面开始有微孔阵列,多孔转鼓旋转线速度与金属箔输送线速度同步;高压注液定子,同轴悬浮设置于多孔转鼓内部空腔中,且仅在对应于金属箔...
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