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基台支承装置及曝光装置
以提供能够抑制基台的变形的基台支承装置为目的。基台支承装置(810)包括:多个致动器(81b),其配置在设置面上,在基台(81a)的下表面侧的多个支承点分别支承所述基台(81a),并相对于所述支承点在支承方向上产生推力;多个检测部(82),...
曝光装置以及基板支承部件
曝光装置具有除静电部,所述除静电部在支承基板的基板支承部件移动的期间内将所述基板支承部件所带的静电消除,所述基板支承部件具有导电性的主体部和导电性部件,所述导电性部件与由所述基板支承部件支承的所述基板相对置,且将所述基板所带的静电传导至所述...
感光性树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法、半导体器件、聚酰亚胺、聚酰亚胺的制造方法及化合物
本发明提供一种含有包含式(1‑1)所表示的重复单元的聚酰亚胺及感光剂的感光性树脂组合物、使上述组合物固化而成的固化物及其制造方法、包含固化物的层叠体及其制造方法、半导体器件及其制造方法、以及新的型聚酰亚胺及其制造方法及化合物;式(1‑1)中...
用于光刻设备中的图案化装置的运动控制的系统和方法
掩模版通常通过夹具被夹持到光刻设备中的卡盘。由夹具提供的力可以限制所述掩模版可以加速多快(例如如果掩模版加速太快,则掩模版的动量可能会破坏夹持力,并且掩模版可能在卡盘上滑动)。描述了一种新的运动控制系统,新的运动控制系统在加速期间对掩模版施...
用于掩模预测的半监督模型、自监督模型以及强化学习机器学习模型
一种训练机器学习(ML)模型以用于掩模图案生成的方法,该方法包括:获得ML模型,ML模型被配置为基于输入图案生成输出掩模图案;以及通过以下来训练ML模型:将ML模型应用于训练输入图案以生成预测的掩模图案;将正向模型应用于预测的掩模图案以生成...
相机镜头挠性套环
本文公开了用于相机镜头挠性套环的装置和系统方面。一方面包括具有一个或多个内部突起的内壁、具有一个或多个开口的外壁、位于内壁与外壁之间的凸轮、耦合到凸轮并延伸通过外壁的所述一个或多个开口的致动臂以及两个挠性件。所述方面通过对致动臂的操纵来操作...
阵列基板、显示面板及显示装置
一种阵列基板(001)、显示面板(PNL)及显示装置,阵列基板(001)包括衬底基板(101);多个像素电极(102),在衬底基板(101)上呈阵列排布;多条数据线(103),在像素电极(102)的列间隙处延伸;多条栅线(104),在像素电...
用于制造显示设备的方法和设备
一种显示设备包括盖板基板,所述盖板基板包括第一盖板表面和相对的第二盖板表面。将第一抗反射涂层施涂于所述第一盖板表面。导光板包括第一板表面和相对的第二板表面。所述导光板包括定位在所述第二板表面处的多个光提取器。将第二抗反射涂层施涂于所述第二板...
复合膜
本发明提供一种层间的密合性优异的复合膜。本发明的实施方式的复合膜包含含有第一聚合物的第一聚合物部以及与上述第一聚合物部的至少一部分直接接触地配置且含有第二聚合物的第二聚合物部,上述第一聚合物和上述第二聚合物各自包含来自硅氧烷单体的结构单元,...
立体图像显示装置及光学片
本发明的课题在于,提供一种显示对比度高的立体图像显示装置及在利用于立体图像显示装置时可获得高显示对比度的光学片。通过依次具有透镜阵列、指向性控制层及自发光型图像显示元件,透镜阵列的一个面为平面状,另一个面具有曲面形状,在透镜阵列的平面状的面...
折叠式光学透镜组件和光学系统
公开了一种光学系统。该光学系统包括显示器、部分反射器和反射偏振器,该显示器被配置为形成图像,该部分反射器和该反射偏振器之间限定有光学腔。光学系统还包括正透镜和负透镜,该正透镜和该负透镜中的至少一者设置在光学腔内部。正透镜和负透镜可均设置在光...
具有散斑降低光混合棒的用于生成虚拟图像的装置
本发明涉及一种用于生成虚拟图像(VB)的装置,其具有用于产生图像的图像生成单元(1),该图像生成单元具有发出相干光的光源(14R、14G、14B)以及散斑降低元件。散斑降低元件是散斑降低光混合棒(17)。
用于头戴式显示器的眼镜片、头戴式显示器、以及用于设计和制造眼镜片的方法
本发明涉及一种用于头戴式显示器(100)的眼镜片(1, 1a,1b)。眼镜片(1, 1a,1b)包括:第一镜片元件(2),该第一镜片元件具有弯曲的第一镜片元件表面(3);第二镜片元件(4),该第二镜片元件具有弯曲的第二镜片元件表面(5);以...
用于确定N个光学元件的组合的装配方案的方法以及由此产生的光学模块
本发明涉及一种用于确定光学元件(例如光学透镜)的装配方案的方法,光学元件用于装备光学模块,所述模块具有堆叠轴线(z)和垂直于堆叠轴线的参考平面(x,y),并且包括N个类型的光学透镜(Lk)的组合,k=[1,...N],光学透镜设置有两个界面...
用于固定MEMS微反射镜单元的方法和MEMS微反射镜单元
本发明涉及一种用于将MEMS微反射镜单元(100)固定在总体组件(200)中的方法,该总体组件(200)具有至少一个用于MEMS微反射镜单元(110)的容纳部(210),该总体组件(200)例如用于光刻的投射曝光设备(1)中。本发明还涉及一...
目镜光学系统、光学设备以及观察方法
目镜光学系统(EL)具备具有正的光焦度的第1正透镜(Lp1)以及具有正的光焦度的第2正透镜(Lp2),并满足以下的条件式:1.700<Np1<2.050、1.700<Np2<2.050,其中,Np1:第1正透镜(Lp1)的对d线的折射率,N...
样品表层成像的显微镜装置及方法
本发明的一些实施例提供了一种样品表层成像的显微镜装置。该显微镜装置包括物镜;表层照明器,其被配置为以小于或等于物镜景深的深度对样品进行照射;以及载物台模块,其配置为接收、调整和定位样品以进行可重复成像。表层照明器包括光源,其配置为发射光以照...
LED及激光二极管组合的照明系统
组合照明系统包含第一波导及第二波导。所述第一波导的输出端耦合到所述第二波导的输入端。LED光源经配置以从所述第一波导的输入端且通过所述第二波导的输出端发射光以照明工件。激光光源耦合到光纤的输入端,且所述光纤的输出端耦合到所述第二波导的所述输...
基板组件
基板组件具备:基板(10),其具有朝向第一方向的第一面(10a)以及在与该第一面相反的一侧朝向第一方向的相反方向的第二面(10b)且供光收发器(30)固定,光收发器具有第一电接口(31a1)以及散热部(31a2),该光收发器在第一电接口以及...
一次成型多光传输片组件的制造方法
是具备一次成型多光传输片(10)和收容构件(20)的一次成型多光传输片组件(100A)的制造方法,对设于收容构件(20)的位置基准部(25)、和包含与位置基准部(25)对应的基准位置标记(R1)以及表示芯部区域(11)的每一者相对于所述位置...
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