Document
拖动滑块完成拼图
专利交易 商标交易 积分商城 国际服务 IP管家助手 科技果 科技人才 会员权益 需求市场 关于龙图腾 更多
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索
摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 本申请适用于液冷系统技术领域,提供一种液冷CDU联机控制方法、装置、群控系统及数据中心。该方法适用于包括多个联机液冷CDU的液冷CDU群控系统,液冷CDU为主机或从机;该方法包括:主机检测到任一在运行的从机脱机且存在备机时,控制备机启动,控...
  • 本发明涉及抗蚀剂组合物,其为能够通过曝光而产生酸、且在显影液中的溶解性能够通过酸的作用而变化的抗蚀剂组合物,该抗蚀剂组合物含有:在显影液中的溶解性能够通过酸的作用而变化的基材成分(A)、和能够通过曝光而产生酸的产酸剂成分(B),前述产酸剂成...
  • 本申请公开了一种负载效应预测方法、设备、介质及产品,涉及半导体刻蚀技术领域。该负载效应预测方法包括:获取待预测图形的第一邻域所对应的光学空间图像,以及第二邻域所对应的部分图形分布密度图像,确定待预测图形的待模拟刻蚀输入信息,第二邻域的覆盖范...
  • 本发明的课题在于容易地设定前置放大器的输入电压。本发明包含前置放大器(10),所述前置放大器(10)获得和电流检测电阻(R0)的上侧电压与下侧电压的差对应的前置放大器正输出(vc)及前置放大器负输出(vb)。前置放大器(10)具有第1运算放...
  • 本公开涉及控制设备、光刻装置和物品制造方法。一种控制待控制对象的控制设备。该设备包括:生成器,被配置为生成用于确定操纵变量的概率分布;以及确定器,被配置为基于由生成器生成的概率分布来确定操纵变量。在操作阶段中,确定器根据概率分布的期望值来确...
  • 本实用新型公开了一种多功能旋转式曝光机夹具,涉及曝光机技术领域,包括:支撑框,设置于所述支撑板上,与支撑板固定连接;支撑柱,设置于所述支撑框内,与支撑框固定连接;移动机构,设置于所述支撑板上,用于对光刻板进行移动;夹持机构,设置于所述移动机...
  • 本发明涉及电子产品生产技术领域,具体公开了一种掩膜版转移装置及掩膜版转移方法,其中,开盖机构设于底座且用于将掩膜版储存盒的盖体打开;转移机构设于底座,且转移机构的输出端具有用于从掩膜版储存盒中抓取掩膜版的抓取组件,抓取组件中,两个夹持件均沿...
  • 本发明提供一种带幅值补偿功能的闭环控制积分系统,主要包括非理想积分器、增益可变放大器和控制信号发生器;非理想积分器接收罗氏线圈输出信号,并对该信号进行积分运算,以抑制干扰直流量造成的积分溢出;增益可变放大器在接收到控制信号发生器所产生的控制...
  • 本申请提供一种投影装置,包括:主体;盖体,与主体活动连接;发光组件,发光组件能够发出光信号;菲林组件,设于出光信号的传输路径上;成像组件,用于对透过菲林组件的光信号进行成像,盖体盖设于主体时,成像组件设置于菲林组件背离发光组件的一侧;其中,...
  • 本发明提出一种多重冗余控制系统的时钟同步控制方法和系统。涉及工业自动化控制技术领域。该方法包括:各控制器广播并接收同步时钟和同步脉冲;利用高频诊断时钟对时钟信号进行健康诊断;结合处理器状态及主备切换逻辑确定主备状态;根据健康状态及主备状态,...
  • 本发明公开了一种柔印版的制版工艺,该制版工艺包括以下步骤:S1 : 将待曝光基材以及图案板重叠后放置在曝光机内;S2:LED灯板高功率启动;S3:LED灯板从待曝光基材的前端平行移动至待曝光基材的后端;S4:LED灯板原地等待并降低其功率;...
  • 本发明涉及智能控制技术领域,公开了整车控制功能冗余实现方法、装置、车辆、介质及产品,本发明通过按驾驶功能划分软件功能模块,并将其与对应的冗余备份模块部署在不同算力中心,结合软件函数调用关系生成调度链路,异常时基于异常所关联的函数和冗余备份模...
  • 本发明提供了一种用于优化无掩膜光刻机线宽均匀性的方法及光刻系统,该方法首先通过曝光并测量特定测试图形,获取曝光区域内各位置的线宽分布数据;然后基于该数据计算出补偿能量分布不均所需的光刻数据调整量;最后通过调整目标产品光刻图形数据中相应像素的...
  • 本实用新型公开了一种光学投影装置,涉及投影结构技术领域,包括外壳、菲林片、聚光透镜和成像镜头,所述聚光透镜和所述菲林片重叠设置在所述外壳内,所述成像镜头可拆卸地连接在所述外壳的一端,所述菲林片位于所述聚光透镜与所述成像镜头之间;本实用新型采...
  • 本申请涉及一种激光直写系统刻写方法、装置及计算机设备。所述激光直写系统包括图像传感模块、振镜、位移台,所述方法包括:确定所述位移台移动的第一距离与所述图像传感模块像素点对应移动的第二距离之间的第一关系;基于所述第一关系和预设系数确定振镜电压...
  • 本公开提供了一种贷款审批流程操作方法、装置、设备及存储介质,应用于贷款审批技术领域。该方法包括:响应于审批系统的第一客户端节点的审批请求,将基于审批请求生成的贷款合同分别发送给第一客户端节点和审批系统的至少一个第二客户端节点进行贷款合同审批...
  • 本实用新型涉及一种天花幕外壳及天花幕,天花幕外壳包括中空的主壳体、可拆卸设置在所述主壳体宽度方向两侧的第一挡板、以及可拆卸设置在所述主壳体长度方向两侧的第二挡板,所述主壳体宽度方向的侧壁倾斜向下设有挂槽,所述挂槽沿所述主壳体长度方向的一端延...
  • 本发明公开了一种光刻载片托盘以及其制作方法,光刻载片托盘包括托盘本体以及具有弹性形变的限位件;托盘本体上设置有容纳载片的容置槽;限位件设置于所述托盘本体上且部分延伸至所述容置槽内,所述限位件能提供垂直于所述容置槽深度方向上或者沿所述容置槽深...
  • 公开了一种光致抗蚀剂组合物,该光致抗蚀剂组合物包含:第一聚合物,该第一聚合物包含第一重复单元,该第一重复单元包含酸不稳定基团;和第二聚合物,该第二聚合物包含衍生自一种或多种具有式(4)的单体的重复单元;光酸产生剂;以及溶剂,其中Z1、Z2、...
  • 本发明提供了一种镜片调整装置、可调式光学系统和光刻设备,应用于半导体制造领域。该镜片调整装置,包括:可动镜组模块,包括:镜筒、镜座及定心单元,镜座通过定心单元设置在镜筒上;若干位置调整模块,均沿镜筒周向设置,且每个位置调整模块包括驱动单元和...
技术分类