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模块化基板支撑组件
一种静电卡盘组件包括:第一圆盘板,此第一圆盘板包括一或多个第一功能元件;第二圆盘板,此第二圆盘板包括一或多个第二功能元件;以及接口层,此接口层至少部分地键合此第一圆盘板及此第二圆盘板。
基座热传递
一种基板支撑组件,包括轴以及设置在该轴上的基座。该基座被配置为在基板处理操作期间在处理腔室中支撑基板。该基板支撑组件包括冷却特征,该冷却特征被配置为在该基板处理操作之后以每分钟大于2摄氏度的冷却速率冷却该基座。
含金属硬模中的粘附改良
半导体处理的示例性方法可包括向半导体处理腔室的处理区域提供处理前驱物。基板可安置在处理区域内。所述方法可包括使基板的表面与处理前驱物接触。所述方法可包括向处理区域提供沉积前驱物。沉积前驱物可包括含金属前驱物。所述方法可包括形成沉积前驱物的等...
过孔填充的方法
一种加工衬底的方法包括:将该衬底暴露于要吸附在该衬底上的含硼前体,其中该衬底包括形成在导电层上的介电层,并且该导电层暴露在形成在该介电层中的凹部的底部处。该方法包括:将所吸附的含硼前体暴露于等离子体;以及通过气相沉积工艺用导电填充材料自下而...
包括高容量低时延存储存储器的处理核心
一种非易失性存储器叠堆,该非易失性存储器叠堆提供对专用处理器诸如AI处理器的高带宽支持。高带宽闪存(HBF)叠堆可为整体的,包括全部都是非易失性存储器还有一个存储器控制器,或者它可为混合的,包括非易失性和易失性存储器的混合还有控制器。该处理...
嵌入在互连金属层中的缓冲器晶体管和反相器晶体管
描述了具有在顶侧BEOL(后段制程)金属层之间形成的缓冲器晶体管或反相器晶体管的集成电路器件。缓冲器晶体管或反相器晶体管包括可以在顶侧金属层之间的空间中形成的有源区和源极/漏极。在某些实例中,晶体管是在离衬底最远的金属层之间形成的。晶体管连...
包括位于金属化部分之间的桥接件的封装件
一种封装件包括:第一金属化部分;第一集成设备,所述第一集成设备耦合到所述第一金属化部分;桥接件,该桥接件耦合到第一金属化部分;包封层,该包封层耦合到第一金属化部分;第二金属化部分,该第二金属化部分耦合到桥接件和包封层,使得第一集成器件、桥接...
铜系线材及半导体元件
本发明提供一种铜系线材及使用了所述铜系线材的半导体元件,所述铜系线材即使在使用铜系线材的半导体元件等构件小型化的情况下,与半导体晶片等接合配对件接合时也不易损坏接合配对件,并且能够提高对于接合配对件的接合性。铜系线材含有99.96质量%以上...
半导体装置
本发明提供一种可靠性高的半导体装置,在利用高耐热环氧树脂对搭载有功率半导体芯片的绝缘电路基板进行密封的半导体装置中,能够抑制高耐热环氧树脂与绝缘电路基板的配线之间的剥离。其特征在于,具备:功率半导体芯片;绝缘电路基板,其搭载所述功率半导体芯...
复合固体电解质和包括该复合固体电解质的全固态电池
根据本公开的一种复合固体电解质包括石榴石型固体电解质和包含Cl元素的Li超离子导体型固体电解质。所述Li超离子导体型固体电解质由LiaMbPcCldOe表示,其中,M包括Zn、Al、Ga、Si、Ge、Ti、Mg或它们的组合,a、b、c、d和...
一种大粒度偏钒酸铵及其制备方法
本发明属于湿法提钒技术领域,具体涉及了一种大粒度偏钒酸铵及其制备方法。包括以下步骤:(1)含钒原液的制备;(2)将铵盐和高分子量聚乙二醇溶于水中,加碱调节pH,得铵盐溶液;(3)将低分子量聚乙二醇加入含钒原液中,得改性含钒原液;(4)将铵盐...
基于PIV的深海冷泉系统甲烷气体释放模拟装置及方法
本发明涉及海洋工程地质研究技术领域,特别是一种基于PIV的深海冷泉系统甲烷气体释放模拟装置及方法。包括:稳压供气模块,包括气泡发生反应釜和膜式气液稳压装置,膜式气液稳压装置并联设置在气泡发生反应釜与模拟反应模块连接的供气管路上;模拟反应模块...
一种低温等离子清洗机智能预测维护方法及系统
本发明涉及工业设备智能预测维护技术领域,具体为一种低温等离子清洗机智能预测维护方法及系统;所述方法包括:采集设定功率、实际输出功率、喷嘴入口气压、喷枪温度、控制指令以及所有数据的时间戳,建立运行时序数据集;基于运行时序数据集计算得到放电路径...
一种消防工程用灭火设备
本发明属于便携式消防技术领域,具体公开了一种消防工程用灭火设备,包括灭火器罐体,所述灭火器罐体的底部设置有运输模块,所述灭火器罐体的侧面套设有背戴模块,所述背戴模块的向外一侧安装有固定模块,所述灭火器罐体的内部设置有灭火剂用储存腔,所述灭火...
一种再生资源分拣回收装置及方法
本发明公开了一种再生资源分拣回收装置及方法,涉及资源分拣回收技术领域,包括筛分框,所述筛分框的底部外壁固定连接有支撑架,所述支撑架的底部外壁固定连接有弹簧,所述弹簧远离所述支撑架的一端固定连接有底架;所述筛分框的底部内壁开设有等距离分布的第...
基于直蜉金龟幼虫口器的耦合仿生低扰减阻深松铲
基于直蜉金龟幼虫口器的耦合仿生低扰减阻深松铲,由仿生深松铲柄和仿生铲尖组成。仿生深松铲柄由机架连接段、工作段及铲尖连接段连接而成,其中铲柄切削刃轮廓线、铲柄工作段内准线和铲柄工作外准线均由直蜉金龟幼虫口器内轮廓曲线设计;仿生铲尖的触土工作面...
一种改善园林绿地土壤结构的曝气设备
本发明公开了一种改善园林绿地土壤结构的曝气设备,涉及土壤改善技术领域,包括底板和踩踏板,所述底板上端面安装有立式空压机,所述立式空压机输出端连接有高压出气管,所述踩踏板上端面固定连接有三个分布均匀的带槽滑架,所述带槽滑架上端之间固定连接有把...
一种面向蔬菜种植的智能除草机器人
本发明公开了一种面向蔬菜种植的智能除草机器人,包括骨架结构,通过骨架结构内侧安装有滑台模组,通过所述滑台模组安装有电动推杆,所述电动推杆的伸缩端安装有机械手,在骨架结构的顶部安装有设备托板,在所述骨架结构的内侧靠近底部位置处安装有碾碎装置,...
一种胡麻栽培田垄松土装置
本发明提供一种胡麻栽培田垄松土装置,涉及种植技术领域。该装置,包括前部翻动机构、中部连接机构和后部翻动机构,所述前部翻动机构包括前部套筒,所述中部连接机构包括中部套壳,所述后部翻动机构包括后部套筒,所述中部套壳前后两侧端面中心位置分别嵌入设...
一种带有清杂仿形避障防缠绕残膜回收机
本发明公开一种带有清杂仿形避障防缠绕残膜回收机,包括机架,机架上连接有仿形避障防缠绕挑膜装置、倾角可调除杂输膜装置、等线速度卷膜装置以及换向膜杂侧输出装置,仿形避障防缠绕挑膜装置通过带座轴承固定在机架后上部,仿形避障防缠绕挑膜装置前部设置有...
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