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最新专利技术
  • 用于晶圆量测的成像配置确定方法、装置和电子设备
    用于晶圆量测的成像配置确定方法、装置和电子设备_苏州镁伽科技有限公司_202511966195.X
    本发明实施例提供了一种用于晶圆量测的成像配置确定方法、装置和电子设备。用于晶圆量测的成像配置确定方法包括：获取目标晶圆的目标成像属性信息，目标成像属性信息包括：目标工艺参数信息、目标量测点的位置信息和目标基础成像信息；将目标成像属性信息输入...
    2026-05-02
  • 晶圆的量测点的确定方法、电子设备和存储介质
    晶圆的量测点的确定方法、电子设备和存储介质_苏州镁伽科技有限公司_202511966155.5
    本发明实施例提供了一种晶圆的量测点的确定方法、电子设备和存储介质。晶圆的量测点的确定方法包括对晶圆的最初量测点执行一次或多次剔除操作，直到符合第一预设要求时结束，并将最初量测点中的在结束时所删除的所有量测点以外的量测点确定为最终量测点，剔除...
    2026-05-02
  • 改善芯片曝光的方法和大尺寸芯片曝光方法
    改善芯片曝光的方法和大尺寸芯片曝光方法_长电科技管理有限公司_202511915346.9
    本发明提供了一种改善芯片曝光的方法和大尺寸芯片曝光方法。通过在形成分割芯片的切割线时，通过选择所述切割线的路径为直线或者折线，简化图形的拉伸计算；通过控制所述切割线的宽度大于或者等于切割宽度阈值，确保图形在切割和拉伸后仍能保持良好的形状和尺...
    2026-05-02
  • 一种微镜组件和直写光刻系统
    一种微镜组件和直写光刻系统_张江国家实验室_202411474652.9
    本申请公开了一种微镜组件和直写光刻系统。该直写光刻系统包括光源、微反射镜阵列、微凸镜阵列和工作台；光源用于朝向微反射镜阵列产生照射光；微反射镜阵列用于将照射光调制成目标图案光束，并射向至微凸镜阵列；微凸镜阵列用于接收目标图案光束并处理成聚焦...
    2026-05-02
  • 感光抗蚀剂组合物、感光性干膜以及应用
    感光抗蚀剂组合物、感光性干膜以及应用_杭州福斯特电子材料有限公司_202610319123.4
    本发明提供了一种感光抗蚀剂组合物、感光性干膜以及应用。按重量份计，该感光抗蚀剂组合物中包括20份~45份的丙烯酸共聚物树脂、13~27份的光聚合性化合物以及0.3份~2.3份的第一光引发剂；感光抗蚀剂组合物固化形成的涂层经曝光处理，其进光侧...
    2026-05-02
  • 利用杂化光刻胶制备纳米多孔图形的方法
    利用杂化光刻胶制备纳米多孔图形的方法_中国科学院光电技术研究所_202610240306.7
    本公开提供了一种利用杂化光刻胶制备纳米多孔图形的方法，包括：配制包含杂化光刻胶的光刻胶溶液；将光刻胶溶液在可控环境下静置老化预设时间段，以诱导光刻胶溶液中形成金属团簇分子，得到老化后的光刻胶溶液；对老化后的光刻胶溶液进行过滤，筛选出具有目标...
    2026-05-02
  • 用于从含金属抗蚀剂移除边缘珠粒的组合物、含金属抗蚀剂的显影剂组合物、以及使用所述组合物形成图案的方法
    用于从含金属抗蚀剂移除边缘珠粒的组合物、含金属抗蚀剂的显影剂组合物、以及使用所述组合物形成图案的方法_三星SDI株式会社_202511487538.4
    公开了一种用以从含金属抗蚀剂移除边缘珠粒的组合物或一种含金属抗蚀剂的显影剂组合物、以及一种利用所述组合物或所述显影剂组合物来形成或提供图案的方法。用以从含金属抗蚀剂移除边缘珠粒的所述组合物或含金属抗蚀剂的所述显影剂组合物可包含：环状化合物，...
    2026-05-02
  • 用于从含金属抗蚀剂移除边缘珠粒的组合物、含金属抗蚀剂的显影剂组合物、以及使用所述组合物形成图案的方法
    用于从含金属抗蚀剂移除边缘珠粒的组合物、含金属抗蚀剂的显影剂组合物、以及使用所述组合物形成图案的方法_三星SDI株式会社_202511485502.2
    公开了一种用以从含金属抗蚀剂移除边缘珠粒的组合物或一种含金属抗蚀剂的显影剂组合物、以及一种利用所述组合物和/或所述显影剂组合物来形成或提供图案的方法。用以从含金属抗蚀剂移除边缘珠粒的所述组合物或含金属抗蚀剂的所述显影剂组合物可包含：多酚系化...
    2026-05-02
  • 结构色的纳米压印生成方法、装置及压印设备
    结构色的纳米压印生成方法、装置及压印设备_深圳大学_202610148327.6
    本申请提供了一种结构色的纳米压印生成方法、装置及压印设备，涉及纳米压印技术领域，方法包括：沿第一方向，通过压头对工件的表面进行多次压印，形成第一凹坑序列；第一凹坑序列包括第一凹坑以及位于第一凹坑的第一方向的第二凹坑，第一凹坑与第二凹坑之间沿...
    2026-05-02
  • 一种大幅面硬对硬压印装置、压印方法、脱模方法及存储介质
    一种大幅面硬对硬压印装置、压印方法、脱模方法及存储介质_苏州光舵微纳科技股份有限公司_202512020172.6
    本发明提供一种大幅面硬对硬压印装置，包括：视觉检测模块、气囊模块、母版模块以及模具；视觉检测模块悬于所述气囊模块上方，用于观察所述母版模块与模具压印贴合情况以及测量所述模具与母版模块间距离；气囊模块至少包括，气囊和气囊吸盘，气囊设置于气囊吸...
    2026-05-02
  • 半导体装置的制造方法、灰阶光罩及半导体装置
    半导体装置的制造方法、灰阶光罩及半导体装置_光宝科技新加坡私人有限公司_202511464536.3
    本发明公开一种半导体装置的制造方法、灰阶光罩以及半导体装置。方法包括：提供一基板，并且于其上形成一无机层及一光阻层；配置一灰阶光罩，该灰阶光罩包含一具有两个透光区的第一光罩，以及一具有两个具有不同透光率的滤光区的第二光罩。曝光光线经灰阶光罩...
    2026-05-02
  • 基于双界面液体棱镜与液体透镜的裸眼3D成像装置及方法
    基于双界面液体棱镜与液体透镜的裸眼3D成像装置及方法_成都信息工程大学_202512009125.1
    本发明公开了一种基于双界面液体棱镜与液体透镜的裸眼3D成像装置及方法，所述装置包括相机模组、双界面液体棱镜组件、液体透镜组件、图像处理模块及裸眼3D显示器；双界面液体棱镜组件为单腔体三层液体结构，通过电压驱动调节双界面倾斜角实现光线偏折，完...
    2026-05-02
  • 照明系统以及投影装置
    照明系统以及投影装置_中强光电股份有限公司_202411458088.1
    一种照明系统以及投影装置。照明系统包括激光光源、波长转换模块、滤光模块以及聚光透镜。激光光源用以发出激光光束。波长转换模块设置于激光光束的传递路径上，且包括基板、至少一波长转换层以及至少一反射层。至少一波长转换层用以将激光光束转换为至少一转...
    2026-05-02
  • 投影仪、飞机投影系统以及用于投影图像的方法
    投影仪、飞机投影系统以及用于投影图像的方法_波音公司_202411471541.2
    公开了投影仪、飞机投影系统以及用于投影图像的方法。该投影仪包括壳体、显示控制器、显示引擎和驱动组件。显示控制器联接到壳体。显示引擎被包封在壳体中并且被联接到显示控制器。驱动组件联接到壳体并且构造成选择性地定位壳体。
    2026-05-02
  • 一种摄影用枪形握持手柄及快门控制装置
    一种摄影用枪形握持手柄及快门控制装置_牛迪_202610298846.0
    本发明属于摄影辅助器材技术领域，具体是指一种摄影用枪形握持手柄及快门控制装置，包括枪形握持主体，握持主体上设置有快门控制组件和有线连接接口，快门控制组件可通过蓝牙、WiFi无线连接与相机建立信号连接，有线连接接口作为无线失效后的备用控制手段...
    2026-05-02
  • 一种基于柔性石墨烯膜导热链的热传导结构及装配方法
    一种基于柔性石墨烯膜导热链的热传导结构及装配方法_北京空间机电研究所_202511996125.9
    本发明公开了一种基于柔性石墨烯膜导热链的热传导结构及装配方法，属于热传导技术领域，本发明设计了一种基于石墨烯膜导热链的空间热传导结构，对导热链的端面连接结构、柔性段的固定结构、热控状态进行设计，并根据石墨烯膜导热链在安装过程中易破损、层间易...
    2026-05-02
  • 遮光构件及具有遮光构件的光学元件
    遮光构件及具有遮光构件的光学元件_三星电机株式会社_202511129770.0
    提供了遮光构件。遮光构件包括：第一突起，设置在遮光构件的在与光轴相交的第一方向上延伸的第一内周表面上；以及第二突起，设置在遮光构件的在与光轴相交的第二方向上延伸的第二内周表面上。第一突起的第一平均尺寸配置成与第二突起的第二平均尺寸不同。第一...
    2026-05-02
  • 基于多方向直线导向的旋转驱动器、摄像模组和电子设备
    基于多方向直线导向的旋转驱动器、摄像模组和电子设备_北京美拓斯电子有限公司_202610129947.5
    本公开涉及一种基于多方向直线导向的旋转驱动器、摄像模组和电子设备，旋转驱动器包括：底座；转动件；至少三组支撑结构，包括：第一导向部，沿直线延伸且固定于底座，至少三个第一导向部中任意两者均互不平行；第二导向部，固定于转动件且与第一导向部位置对...
    2026-05-02
  • 光学元件驱动装置以及相机模块
    光学元件驱动装置以及相机模块_阿尔卑斯阿尔派株式会社_202511486592.7
    一种光学元件驱动装置以及相机模块，在使透镜体沿光轴移动时，抑制透镜体绕光轴的旋转。在透镜驱动装置(101)中，透镜保持部件(2)与中间部件(3)能够绕光轴(OA)相对旋转，并且能够在沿着光轴(OA)的方向上一起移动。形状记忆合金线(SA)包...
    2026-05-02
  • 激光频率转换器件、激光频率转换方法及光学设备
    激光频率转换器件、激光频率转换方法及光学设备_复旦大学宁波研究院_202610294466.X
    本申请提供了一种激光频率转换器件，包括：透明基底；固定在所述透明基底表面的单一手性碳纳米管阵列薄膜；入射光源；所述入射光源的入射光穿过所述单一手性碳纳米管阵列薄膜转换成二次谐波光出射；所述单一手性碳纳米管阵列薄膜中碳纳米管的轴线、入射光源的...
    2026-05-02
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